Źródło typu A
Źródło magnetronowe typu A służy do nakładania cienkich warstw o dużej jednorodności. Źródło jest przystosowane do pracy w warunkach UHV. Dzięki zintegrowanemu systemowi odchylania in situ może być stosowane zarówno w komorach o standardowej, jak i niestandardowej geometrii. Dzięki zastosowaniu przysłony o konstrukcji kopułowej minimalizujemy przestrzeń potrzebną do jej otwarcia.
| Kołnierz montażowy |
DN 63 CF, DN 100 ISO-K * |
| Maks. moc (tryb DC) |
400 W DC ** |
| Maks. moc (tryb RF) |
400 W RF ** |
| Maks. napięcie DC |
1200 V |
| Złącze DC/RF |
typ 7/16 |
| Target: |
|
| kształt |
okrągły |
| średnica |
2″ (50.8 mm) ± 0.2 mm |
| grubość |
1 – 6 mm |
| chłodzenie |
pośrednie |
| Przepływ wody |
min. 1 l/min |
| Maks. temperatura wody na wlocie |
< 28 °C |
| Maks. ciśnienie wody |
3 bar |
| Średnica rurki |
Ø6×1 mm PTFE |
| Materiał magnesu |
Neodymowy borek żelaza (NdFeB) |
| Maks. temperatura magnesu |
200°C |
| Wewnętrzna przysłona pneumatyczna |
tak |
| Typ przysłony |
kopułowa lub płaska |
| Moduł odchylania in situ |
tak, zakres: +45° ÷ -10° |
| Kominek |
tak |
| Typowe prędkości parowania [nm/min] dla 200 W: |
|
| Cu |
40,87 nm/min (odległość: 150 mm; grubość targetu: 3 mm)*** |
| Ti |
10,82 nm/min (odległość: 150 mm; grubość targetu: 3 mm)*** |
| Fe |
15,94 nm/min (odległość: 150 mm; grubość targetu: 1 mm)*** |
| Zintegrowany wlot gazu |
tak (standard VCR) |
| Gaz roboczy |
Ar |
| Maks. ciśnienie robocze |
5×10-3 – 1×10-1 mbar |
| Optymalne ciśnienie robocze |
5×10-3 – 5×10-2 mbar |
* Inne kołnierze montażowe dostępne na życzenie
** Maksymalna moc jest zależna od materiału targetu
*** Odległości są zależne od geometrii komory i magnetronów
Źródło typu B
Źródło magnetronowe typu B służy do nakładania cienkich warstw o dużej jednorodności. Źródło przystosowane jest do pracy w warunkach UHV. Źródło przeznaczone jest do napylania materiałów magnetycznych i ferromagnetycznych. Może pracować z targetami o grubości do 7 mm.
| Kołnierz montażowy |
DN 63 CF * |
| Maks. moc (tryb DC) |
400 W DC ** |
| Maks. moc (tryb RF) |
400 W RF ** |
| Maks. napięcie DC |
1200 V |
| Złącze DC/RF |
typ 7/16 |
| Target: |
|
| kształt |
pierścień |
| średnica |
2″ (50.8 mm) ± 0.2 mm |
| grubość |
1 – 7 mm (magnetyczne & niemagnetyczne) |
| chłodzenie |
pośrednie |
| Przepływ wody |
min. 1 l/min |
| Maks. temperatura wody na wlocie |
< 28 °C |
| Maks. ciśnienie wody |
3 bar |
| Średnica rurki |
Ø6×1 mm PTFE |
| Materiał magnesu |
Samarowo-kobaltowy (SmCo) |
| Maks. temperatura magnesu |
350°C |
| Wewnętrzna przysłona pneumatyczna |
tak |
| Typ przysłony |
kopułowa lub płaska |
| Moduł odchylania in situ |
tak, zakres: +45° ÷ -10° |
| Kominek |
tak |
| Typowe prędkości parowania [nm/min] dla 200 W: |
|
| Cu |
32,84 nm/min (odległość: 160 mm; grubość targetu: 3 mm)*** |
| Ti |
10,07 nm/min (odległość: 160 mm; grubość targetu: 3 mm)*** |
| Fe |
9,63 nm/min (odległość: 160 mm; grubość targetu: 3 mm)*** |
| Zintegrowany wlot gazu |
tak (standard VCR) |
| Gaz roboczy |
Ar |
| Maks. ciśnienie robocze |
5×10-3 – 1×10-1 mbar |
| Optymalne ciśnienie robocze |
5×10-3 – 5×10-2 mbar |
* Inne kołnierze montażowe dostępne na życzenie
** Maksymalna moc jest zależna od materiału targetu
*** Odległości są zależne od geometrii komory i magnetronów
Źródło typu C
Źródło magnetronowe typu C jest kompatybilne z zasilaczami RF oraz DC i jest przygotowane do osadzania różnych klas materiałów: przewodników, półprzewodników i izolatorów. Źródło umożliwia tworzenie jednorodnych i drobnoziarnistych cienkich warstw o wysokiej gęstości (mała powierzchnia pustych przestrzeni), wysokim połysku (współczynnik odbicia) oraz bez uszkodzeń spowodowanych promieniowaniem i zerwanych wiązań.
| Kołnierz montażowy |
DN 63CF lub DN 63ISO‑K dla modelu MS2/63C1,
DN 100CF lub DN 100ISO‑K dla modelu MS2/100C1 |
| Maks. moc (tryb DC) |
400 W DC ** |
| Maks. moc (tryb RF) |
400 W RF ** |
| Maks. napięcie DC |
1200 V |
| Złącze DC/RF |
typ 7/16 |
| Target |
standard “Keeper” |
| kształt |
okrągły |
| średnica |
2″ (50.8 mm) ± 0.2 mm |
| grubość |
niemagnetyczny: 1-6 mm; magnetyczny: Fe 1mm, Ni 1mm |
| chłodzenie |
pośrednie |
| Przepływ wody |
min. 1 l/min |
| Maks. temperatura wody na wlocie |
< 28 °C |
| Maks. ciśnienie wody |
3 bar |
| Średnica rurki |
Ø6×1 mm PTFE |
| Materiał magnesu |
Neodymowo-żelazno-borowy (NdFeB) |
| Maks. temperatura magnesu |
200 °C |
| Wewnętrzna przysłona pneumatyczna |
tak |
| Typ przysłony |
kopułowa lub płaska |
| Moduł odchylania in situ |
tak, zakres: +45° ÷ -10° |
| Kominek |
tak |
| |
|
| Typowe prędkości parowania [nm/min] dla 200 W: |
|
| Cu |
34,70 nm/min (odległość: 100 mm; grubość targetu: 3 mm)*** |
| Ti |
6,8 nm/min (odległość: 100 mm; grubość targetu: 3 mm)*** |
| Fe |
32,41 nm/min (odległość: 100 mm; grubość targetu: 1 mm)*** |
| Zintegrowany wlot gazu |
tak (standard VCR) |
| Gaz roboczy |
Ar |
| Maks. ciśnienie robocze |
5×10-3 – 1×10-1 mbar |
| Optymalne ciśnienie robocze |
5×10-3 – 5×10-2 mbar |
* Inne kołnierze montażowe dostępne na życzenie
** Maksymalna moc jest zależna od materiału targetu
*** Odległości są zależne od geometrii komory i magnetronów
