autoryzowany przedstawiciel na Polskę

PREVAC sp. z o. o. is an authorized representative of Leybold
Zapytaj o produkt

Kontroler monitorów grubości TMC-13

Rządzenie elektroniczne najnowszej technologii przeznaczone do monitorowania i kontrolowania wszystkich procesów nanoszenia warstw i osadzania. Maksymalnie sześć wejść do podłączenia modułów TM13/TM14 i dwa dodatkowe kanały na aktywnych głowic próżniowych wraz z 7-calowym wyświetlaczem TFT czynią to urządzenie wyjątkowym i uniwersalnym.

Opis

Wejścia czujników mogą być przypisane do różnych materiałów z indywidualnymi parametrami. Urządzenie zapewnia dokładny i powtarzalny proces pomiarowy, jest elastyczne w konfiguracj i intuicyjne w obsłudze Funkcja automatycznego zapisywania do parametrów/wstępnie ustawionych jednostek umożliwia stosowanie ich automatycznie po ponownym uruchomieniu.

Dostępne oprogramowanie dedykowane do precyzyjnych pomiarów szybkości osadzania. Rejestruje zmiany częstotliwości rezonatora kwarcowego w czasie (w postaci wykresu). Umożliwia użytkownikowi obliczenie szybkości parowania w wybranym przedziale czasu. Nadaje się m.in. do zastosowań MBE.

Dane techniczne

Napięcie zasilania 100-240 VAC, 50/60 Hz (maks. pobór mocy: 100 W)
Kanały wejściowe czujników TM 6
Grubość 0 – 9999000 Å
Stawka 0 – 9999 Å/s
Kompatybilne sensory

(dwa kanały)

CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, MKS937A, PG105, MG13/14, PKR251/360/361, PCR280, ATMION
Rozdzielczość częstotliwości TM13: 0.1 Hz | TM14: 0.01 Hz
Zakres częstotliwości 2-6 MHz
grubość Rozdzielczości TM13: 0.1 Å | TM14: 0.01 Å
Rozdzielczość stawki TM13: 0.1 Å/s | TM14: 0.01 Å/s
Stabilność częstotliwości TM13: 0.5 ppm | TM14: 0.5 ppm
Współczynnik oprzyrządowania 1 – 400%
Jednostki miary Å, kÅ, nm
Measurement period 100 ms – 2 s (zależy od rodzaju TM)
Kontrola migawki manual, time, thickness
Czas otwarcia migawki 1 – 1000000 s
Wejścia kanałów ciśnieniowych 2
Jednostki miary mbar, Pa, Torr, Psia
Czas odgazowania 1 – 3 min
Wyjśca ▪ 8 wyjść przekaźnikowych (2 wyjścia ze stykami COM NC i NO)
▪ 2 wyjścia analogowe: 0-10V (grubość retransmisji, szybkość, ciśnienie)
Wejścia 4 wejścia cyfrowe (w układzie logicznym 24V)
Interfejs komunikacyjny RS232/485, Ethernet
Protokół komunikacyjny MODBUS-TCP
Interfejs użytkownika 7″ TFT wyświetlacz z ekranem dotykowym
Języki intefejsu Angielski, Niemiecki, Polski
Wymiary 212.6 x 128.4 x 260.9 mm (W x H x D)
Waga (ok.) 3 kg

Wideo

Zapytaj o produkt