Specyfikacja
Nasze laboratorium dysponuje urządzeniem Profilm3D firmy Filmetrics, które do pomiarów wykorzystuje techniki interferometryczne (WLI i PSI). Ponadto wyposażenie obejmuje oprogramowanie do łączenia obrazów (stitchingu) oraz platformę antywibracyjną.
• Zakres grubości, WLI 50 nm – 10 mm
• Zakres grubości, PSI: 0 – 3 μm
• Zakres: 37 mm
• Zakres stolika XY: 100 mm na 100 mm
• Typ stolika: automatyczny
