MEMS
Mikroukłady elektromechaniczne (MEMS) spełniają ważną rolę w branżach i przemysłach, które stawiają na miniaturyzację. MEMS sprawdzają się m.in w lotnictwie, medycynie czy automatyce przemysłowej. Ich cechy charakterystyczne to przynajmniej jeden wymiar o skali micro oraz szeroka gama zastosowań. Zalicza się do nich m.in. czujniki ciśnienia, akcelerometry, mikrofony, czujniki światła oraz mikro silniki. Najbardziej kompaktowe i ekonomiczne mikroukłady elektromechaniczne bazują na krzemie (Si). To rozwiązanie ma także wady: wysoki współczynnik tarcia oraz niska wytrzymałość. Aby udoskonalić produkty, naukowcy prowadzą zatem badania nad nowymi rozwiązaniami, opartymi np. na powłokach DLC.
Powłoki DLC
Cienkowarstwowe powłoki DLC (diamond-like carbon) mają szereg zastosowań w mikroukładach elektromechanicznych (MEMS) ze względu na swoje wyjątkowe właściwości fizykochemiczne. Wyróżniają się twardością, niskim współczynnikiem tarcia oraz wysoką przewodnością cieplną. Dostarczamy zaawansowane zautomatyzowane systemy, które wspierają realizację prac badawczych nad najnowszymi technologiami. Przykładem są aparatury Impulsowej Depozycji Laserowej (PLD), które gwarantują pełną kontrolę nad parametrami procesu depozycji oraz uniwersalne systemy przeznaczone zarówno do pojedynczej technologii nanoszenia cienkich wartsw [thin layers coating/deposition], jak i łączenia wielu technik na jednej platformie badawczej.
Piezoelektryki
Cienkowarstwowe piezoelektryki mają zastosowanie w mikroukładach elektromechanicznych (MEMS), m.in. w czujnikach ciśnienia, drgań czy prędkości. Nowe osiągnięcia nauki pozwalają na rozwój materiałów piezoelektrycznych i ich różnorodne wykorzystannie zarówno w elektronice, jak i medycynie. W połączeniu z miniaturyzacją i technologią materiałową możliwe jest uzyskiwanie nowych struktur o udoskonalonych parametrach i właściwościach. Szeroka gama niezawodnych i precyzyjnych systemów depozycji oraz charakteryzacji PREVAC umożliwia dobranie aparatury badawczej i technik próżniowych do indywidualnych potrzeb oraz nawet najbardziej restrykcyjnych wymogów projektów naukowych.
Mikroukłady optyczne
Półprzewodniki grupy III/V z uwagi na swoje wyjątkowe właściwości fizykochemiczne są wykorzystywane w wielu dziedzinach nauki. Ich zastosowanie obejmuje szeroki zakres optoelektroniki – od wyświetlaczy do przyrządów półprzewodnikowych, które podlegają ciągłej miniaturyzacji. Rozwój tych technologii jest możliwy m.in. dzięki technice nanoszenia ultra-cienkich warstw za pomocją epitaksji z wiązek molekularnych (molecular beam epitaxy – MBE). Do takich prac badawczych oferujemy systemy MBE, które umożliwiają osadzanie cienkich warstw półprzewodników w mikroukładach elektromechanicznych (MEMS) oraz nanostruktur, w precyzyjnie kontrolowanych i powtarzalnych warunkach. Systemy PREVAC wyróżniają się uniwersalnym designem, a także posiadają możliwość charakteryzacji in-situ topografii, krystalografii, grubości warstwy oraz innych parametrów. To wszystko sprawia, że nasze systemy spełniają najbardziej restrykcyjne wymagania w badaniach półprzewodników.
