Radialna komora dystrybucji (UFO)
Komory dystrybucji przeznaczone są do przenoszenia próbek pomiędzy wieloma połączonymi z nimi komorami analitycznymi, procesowymi i przygotowawczymi.
Komory te są zwykle montowane w centralnym punkcie zespołu komór, pełniąc rolę centralnego węzła dystrybucyjnego dla narzędzi klastrowych. Mechanizm transportowo-obrotowy komory dystrybucji zapewnia powtarzalne i dokładne przeniesienie próbki do innych komór. Mechanizm radialnej komory dystrybucji jest rozwinięciem liniowego transportera z zębatką, w którym zębatka z pojedynczą końcówką chwytną jest precyzyjnie obracana przez napęd obrotowy, aż zostanie ustawiona we wstępnie ustawionej pozycji w porcie transferowym. Po zablokowaniu we właściwej pozycji, ten sam napęd obrotowy przenosi ramię przez port.