Samodzielne urządzenie UHV przeznaczone do pomiarów adsorpcji/desorpcji ultra cienkich warstw, zdolne do precyzyjnej kontroli temperatury w szerokim zakresie.
• Ciśnienie podstawowe 1×10-9 mbar
• Komora TPD/TDS z szybkim systemem ładowania uchwytu próbki PTS
• Specjalnie zaprojektowana stożkowa końcówka do pobierania próbek
• Wysoka precyzja kontroli temperatury w szerokim zakresie temperatur (-170 °C do 1200 °C)
• Sterowane komputerowo oprogramowanie do zbierania i przetwarzania danych dla TDS
• Komora Load Lock dla dwóch uchwytów na próbki PTS
• Niezawodny i szybki liniowy system przenoszenia z komory load-lock do komory TPD
Dostępnych wiele opcji rozbudowy, np.:
• Dodatkowe osie ruchu i pełna motoryzacja manipulatora
• Możliwość rozszerzenia zakresu ciśnienia od UHV do 1 atm z precyzyjnym sterowaniem PLC ciśnienia
• System dozowania gazu (ręczny lub precyzyjny z kontrolą PLC)
• System dozowania rozpuszczalników
• Uchwyty na próbki dedykowane do pracy w środowisku korozyjnym
• Opcja grzania i chłodzenia LN2 dla śluzy ładunkowej
• Dedykowana komora do przygotowania próbki
• Analizator gazów resztkowych dla różnego zakresu mas
