Źródło typu B
Źródło magnetronowe typu B służy do nakładania cienkich warstw o dużej jednorodności. Źródło jest przystosowane do pracy w warunkach UHV. Źródło przeznaczone jest do napylania materiałów magnetycznych i ferromagnetycznych. Pracuje z targetami o grubości do 7 mm.
| Kołnierz montażowy |
DN 160 CF* |
| Maks. moc (tryb DC) |
600 W DC ** |
| Maks. moc (tryb RF) |
600 W RF ** |
| Maks. napięcie DC |
1200 V |
| Złącze DC/RF |
typ 7/16 |
| Target |
|
| kształt |
pierścień |
| średnica |
3″ (76.2 mm) ± 0.2 mm |
| grubość |
1 – 7 mm (magnetyczny & niemagnetyczny) |
| chłodzenie |
pośrednie |
| Przepływ wody |
min. 1 l/min |
| Maks. temperatura wody na wlocie |
< 28 °C |
| Maks. ciśnienie wody |
3 bar |
| Średnica rurki |
Ø6×1 mm PTFE |
| Materiał magnesu |
Samarium Cobalt (SmCo) |
| Maks. temperatura magnesu |
350°C |
| Wewnętrzna przysłona pneumatyczna |
tak |
| Typ przysłony |
kopułowa lub płaska |
| Moduł odchylania in situ |
tak, zakres: +45° ÷ -10° |
| Kominek |
tak |
| Przeznaczone do materiałów: |
|
|
typowe prędkości parowania [nm/min] dla 200 W: |
| Cu |
18,72 nm/min (odległość: 170 mm; grubość targetu: 3 mm)*** |
| Ti |
4,10 nm/min (odległość: 170 mm; grubość targetu: 3 mm)*** |
| Fe |
5,16 nm/min (odległość: 170 mm; grubość targetu: 3 mm)*** |
| Wewnętrzny wlot gazu |
tak (standard VCR) |
| Gaz roboczy |
Ar |
| Maks. ciśnienie robocze |
5×10-3 – 1×10-1 mbar |
| Optymalne ciśnienie robocze |
5×10-3 – 5×10-2 mbar |
* Inne kołnierze montażowe dostępne na życzenie
** Maksymalna moc jest zależna od materiału targetu
*** Odległości są zależne od geometrii komory i magnetronów
Źródło typu C
Źródło magnetronowe typu C jest kompatybilne z zasilaczami RF oraz DC i jest przygotowane do osadzania różnych klas materiałów: przewodników, półprzewodników i izolatorów. Źródło umożliwia tworzenie jednorodnych i drobnoziarnistych cienkich warstw o wysokiej gęstości (mała powierzchnia pustych przestrzeni), wysokim połysku (współczynnik odbicia) oraz bez uszkodzeń spowodowanych promieniowaniem i zerwanych wiązań.
| Kołnierz montażowy |
DN 160 CF* |
| Maks. moc (tryb DC) |
600 W DC ** |
| Maks. moc (tryb RF) |
600 W RF ** |
| Maks. napięcie DC |
1200 V |
| Złącze DC/RF |
typ 7/16 |
| Target |
standard Keeper |
| kształt |
okrągły |
| średnica |
3″ (76.2 mm) ± 0.2 mm |
| grubość |
1 – 6 mm |
| chłodzenie |
pośrednie |
| Przepływ wody |
min. 1 l/min |
| Maks. temperatura wody na wlocie |
< 28 °C |
| Maks. ciśnienie wody |
3 bar |
| Średnica rurki |
Ø6×1 mm PTFE |
| Materiał magnesu |
Neodymowy borek żelaza (NdFeB) |
| Maks. temperatura magnesu |
200 °C |
| Wewnętrzna przysłona pneumatyczna |
tak |
| Typ przysłony |
kopułowa lub płaska |
| Moduł odchylania in situ |
tak, zakres: +45° ÷ -10° |
| Komin |
tak |
| Przeznaczony do materiałów: |
|
|
typowe prędkości parowania [nm/min] dla 200 W: |
| Cu |
19,76 nm/min (odległość: 150 mm; grubość targetu: 3 mm)*** |
| Ti |
4,08 nm/min (odległość: 150 mm; grubość targetu: 6 mm)***
4,32 nm/min (odległość: 150 mm; grubość targetu: 3 mm)*** |
| Wewnętrzny wlot gazu |
tak (standard VCR) |
| Gaz roboczy |
Ar |
| Maks. ciśnienie robocze |
5×10-3 – 1×10-1 mbar |
| Optymalne ciśnienie robocze |
5×10-3 – 5×10-2 mbar |
* Inne kołnierze montażowe dostępne na życzenie
** Maksymalna moc jest zależna od materiału targetu
*** Odległości są zależne od geometrii komory i magnetronów
