Urządzenie pozwala na kontrolę grubości warstwy nanoszonej za pomocą szerokiej gamy procesów PVD ( np. napylanie oporowe, magnetronowe, epitaksja z wiązek molekularnych).
Głowica czujnika umieszczona w próżni nieustannie chłodzona jest wodą i chroniona obudową z niemagnetycznych materiałów. Głowica czujnika umieszczona w próżni nieustannie chłodzona jest wodą i chroniona obudową z niemagnetycznych materiałów. Kryształ ułożony jest równolegle do kanalików chłodzących. Waga kwarcowa QO 40A1 zamontowana jest na kołnierzu DN 40 CF, z dwiema rurkami Ø6 oraz złączem współosiowym Microdot S-50.
| Kołnierz montażowy | DN 40CF (obrotowy) |
| Maks. temperatura pracy | do 300°C (z chłodzeniem wodnym) |
| Chłodzenie wodne (wymagane) | przepływ wody > 0,5 l/min temperatura: 20 – 30 °C ciśnienie maksymalne: 6 bar |
| Częstotliwość kryształu | 4,8 – 6 MHz, średnica 14 mm (standard przemysłowy) |
| Długość wkładki | zależy od specyfikacji i geometrii komory |
| Temperatura wypalania | do 150 °C |
