Zapytaj o produkt

Kontroler Procesu Depozycji DPC10

Urządzenie przeznaczone do kontroli depozycji cienkich warstw. Obsługuje dwa niezależne źródła lub komory w tym samym czasie.

DPC10 jest zaawansowanym i niezależnym urządzeniem przeznaczonym do nadzoru procesów fizycznego osadzania z fazy gazowej. DPC10 kontroluje i monitoruje szybkość osadzania i grubość osadzonej warstwy Szybkość osadzania warstwy i jej grubość są przeliczane ze zmian częstotliwości drgania kryształu kwarcowego umieszczonego wewnątrz komory procesowej. Urządzenie może być zaprogramowane przez użytkownika, by kontrolować proces w sposób dokładny i powtarzalny.

SKU: 472 Kategorie: ,

Opis

Użytkownik korzysta z urządzenia za pomocą ekranu dotykowego na przednim panelu wybierając/wprowadzając nowe parametry definiujące proces. Urządzenie wykonuje dowolną recepturę stworzoną przez użytkownika za pomocą graficznego edytora. Ponadto DPC10 współpracuje z dowolnym napięciowo sterowanym zasilaczem źródła (poprzez interfejs analogowy) i może kontrolować proces nagrzewania podłoża.

Kompletny system składa się z głównej jednostki elektronicznej DPC10, głowicy próżniowej i kontrolera grubości warstwy TM13/14 dla każdego kryształu kwarcowego.

 

Dane techniczne

Napięcie zasilania 100-240 VAC, 50/60 Hz (maks. pobór mocy: 43 W)
Wejścia 2 wejścia analogowe (0-10V)
12 wejść cyfrowych
Wyjścia 6 wyjść analogowych (0-10V)
16 wyjść cyfrowych
Obsługiwane monitory grubości TM13: 0.1 Hz | TM14: 0.01 Hz
Grubość 0 – 9999000 Å
Szybkość 0 – 9999 Å/s
Zakres częstotliwości 2-6 MHz
Rozdzielczość grubości TM13: 0.1 Å | TM14: 0.01 Å
Rozdzielczość szybkości TM13: 0.1 Å/s | TM14: 0.01 Å/s
Stabilność częstotliwości TM13: 0.5 ppm | TM14: 0.5 ppm
Współczynnik oprzyrządowania 1 – 400%
   jednostki miary Å, kÅ, nm
Okres pomiaru 100 ms – 2 s (zależy od rodzaju TM)
Kontrola przesłony ręczna, czasowa, grubość warstwy
Czas otwarcia przesłony 1 – 1000000 s
Obsługiwane aktywne mierniki CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PKR251/360/361, PCR280, TPR280/281, PTR90,
ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, PG105, ATMION, IKR360/361
   jednostki miary mbar, Pa, Torr, Psia
Interfejs komunikacyjny RS232/485, Ethernet
Interfejs użytkownika 7″ TFT wyświetlacz z ekranem dotykowym
Języki intefejsu angielski
Wymiary 212.6 x 128.4 x 266.1 mm (W x H x D)
Waga (ok.) 2.1 kg

Cechy

  • Zaprojektowany do automatyzacji procesu osadzania
  • Możliwość prowadzenia dwóch niezależnych procesów jednocześnie
  • Łatwy w obsłudze edytor makr
  • Współpracuje z dowolnym napięciowo sterowanym zasilaczem źródła (poprzez interfejs analogowy)
  • Kontroluje szybkość nanoszenia i grubość nanoszonej warstwy
  • Kontroluje proces nagrzewania próbki
  • Wyposażony w szybki procesor i ekran dotykowy o przekątnej 7”
  • Lista ulubionych materiałów
  • Wykresy 2D w czasie rzeczywistym

Wideo

Podobne produkty

Zapytaj o produkt