Opis
Wolnostojąca aparatura dla techniki epitaksji z wiązki molekularnej (MBE) nadaje się do wzrostu pierwiastków z grup III/V, II/VI oraz innych heterostruktur.
Komora procesowa zawiera 10 porty dla źródeł napylających wraz stolikiem na podłoże jest przeznaczony dla próbek o średnicy do 4 cali, z opcją grzania i obracania podczas procesu. Proces osadzania cienkich warstw można realizować w szerokim zakresie temperatur (od temperatur ciekłego azotu LN2 do 1400˚C) i można go w pełni programować i kontrolować za pomocą sterownika PLC.
Komora procesowa wyposażona jest w kołnierze przyłączeniowe w standardzie UHV do podłączenia obecnych i przyszłych urządzeń, w tym:
- do 10 źródeł komórek efuzyjnych na flanszach DN63CF (wysoko i niskotemperaturowe, jedno lub wielo-filamentowe),
- niezależne przesłony na flanszach DN 63CF,
- kraker, z zasilaczem,
- piec elektronowy wysokiej mocy, z zasilaczem,
- manipulator substratu z szerokim zakresem temperaturowym (w zakresie od temperatur LN2 ciekłego azotu do 1400˚C),
- system pompowania (oparty na konfiguracji pomp próżni wstępnej, TMP, jonowych i TSP),
- próżniomierze z wyposażeniem,
- port wejściowy dla transferu liniowego lub walizki próżniowej,
- waga kwarcowa z wyposażeniem do pomiaru grubości osadzania cienkich warstw, wraz z przesuwem liniowym,
- dyfraktrometr RHEED/TorrRHEED z oprzyrządowaniem,
- zautomatyzowana lub manualna przesłona liniowa służącą do wykonywania warstw klinowych lub masek,
- dodatkowy system dozowania gazów np. reaktywnego procesu,
- okna obserwacyjne z przesłonami,
- analizator gazów resztkowych,
- monitor strumienia wiązki,
- podgrzewane okna dla urządzeń diagnostycznych.
Ostateczny wygląd i funkcjonalność zależy od konfiguracji aparatury.
W razie potrzeby modułowa konstrukcja aparatury umożliwia łączenie i integrację z dowolną inną platformą badawczą za pośrednictwem radialnej komory dystrybucji lub transferu tunelowego do przenoszenia podłoży.
System pompowania w połączeniu ze standardową objętością komory procesowej pozwala osiągnąć ciśnienie bazowe w zakresie 5×10-10 – 5×10-11 mbar, w zależności od konfiguracji pomp próżniowych. System pompowania to połączenie różnych typów pomp, np. pompy próżni wstępnej, pompy jonowje, pompy kriogenicznej, pompy turbomolekularnej lub tytanowej pompy sublimacyjnej, indywidualnie dobierane w celu uzyskania najlepszej wydajności pompowania zgodnie z określonymi wymaganiami aplikacji.
Oprogramowanie sterujące procesem Synthesium umożliwia integrację i doskonałą współpracę źródeł różnych typów i producentów, a także umożliwia łatwe pisanie receptur, automatyczną kontrolę wzrostu cienkich warstw i obszerną rejestrację danych. Umożliwia integrację nowych dodatkowych komponentów opartych na platformie Open Source Tango.
System wyposażony jest w zaawansowane, łatwe w obsłudze zasilacze i urządzenia elektroniczne sterujące i wspomagające źródła oraz całą aparaturę badawczą.
