Zapytaj o produkt

Manipulatory MBE 1-4 osiowe

Manipulator MBE 1-4 osiowy to wysoce precyzyjny manipulator modułowy o sztywnej konstrukcji, przeznaczony do pracy z próbkami w warunkach ultra-wysokiej próżni, odpowiedni wszędzie tam, gdzie wymagany jest ciągły obrót substratu wokół osi R1 i przesunięcie względem osi Z.

SKU: 376 Kategoria:

Opis

W zależności od aplikacji, manipulator umożliwia oporowe grzanie substratów (podłoży, próbek) za pomocą modułu grzejnego pozwalającego osiągnąć temperaturę 1400°C (w warunkach UHV), z dokładnością +/- 1°C. Posiada stację odbiorczą nośnika substratów i umożliwia jego precyzyjne ustawienie kątowe względem przesłony liniowej. Manipulator może pracować w orientacji pionowej.

▪ Nośniki próbek: najczęściej typu Plate (rozmiar substratu do 6 cali)
▪ Zaprojektowany do osiągania wysokich temperatur
▪ Ciśnienie bazowe: do 10-11 mbar

Dane techniczne

Standardowy kołnierz montażowy DN 100CF do DN 300CF (w zależności od wielkości próbki, inne na zamówienie)
Zakres ciśnienia bazowego 10-11 mbar
Przesłona zintegrowana lub zewnętrzna, pneumatyczna lub ręczna
Metody grzania oporowe, EB
Temperatura substratu do 1200 °C (oporowo)
do 1400 °C (EB)
Metody chłodzenia LN2, H20
Zakres Z
 50 mm (inne na zamówienie)
   kontrola pozycji pokrętło ręczne/motoryzacja*
   rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) 500 μm / standardowo 10 μm
Zakres R1 360° ciągły
   kontrola pozycji motoryzacja*
Zakres XY (opcjonalnie)
 ± 12.5 mm
   kontrola pozycji mikrometr/motoryzacja*
   rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) 5 μm / 1 μm
Maks. prędkość do 60 rpm
Temperatura wygrzewania do 150 °C / 200 °C (na zamówienie)

* silnik krokowy lub serwomotor – w zależności od zastosowania.
Na życzenie manipulator może być przygotowany pod silniki lub sterowniki klienta.

DOSTĘPNE MATERIAŁY GRZAŁEK

Grafit elastyczny (stabilny w formie), minimalne odgazowanie w wysokich temperaturach, odporny na utlenianie poniżej 500°C
Grafit z powłoką PBN elastyczny (stabilny w formie), minimalne odgazowywanie w wysokich temperaturach, odporny na utlenianie poniżej 800°C (w zależności od ciśnienia cząstkowego tlenu)
Grafit z powłoką SiC twardy, lekki i stabilny w formie, odporny na utlenianie poniżej 1400°C
SiC (β) wyjątkowo twardy, lekki i stabilny w formie, niska rozszerzalność cieplna, odporny na wstrząsy mechaniczne i elektryczne, doskonała odporność na gazy reaktywne/utlenianie

Opcje

▪ Powłoka H2O
▪ Chłodzenie LN2 lub H2O
▪ Boczna lub zintegrowana przesłona klinowa (dostępna z opcją chłodzenia H2O)
▪ Stół dla przesunięcia w osiach XY
▪ Wł./wył. przesłony

Podobne produkty

Zapytaj o produkt