Opis
W zależności od aplikacji, manipulator umożliwia oporowe grzanie substratów (podłoży, próbek) za pomocą modułu grzejnego pozwalającego osiągnąć temperaturę 1400°C (w warunkach UHV), z dokładnością +/- 1°C. Posiada stację odbiorczą nośnika substratów i umożliwia jego precyzyjne ustawienie kątowe względem przesłony liniowej. Manipulator może pracować w orientacji pionowej.
▪ Nośniki próbek: najczęściej typu Plate (rozmiar substratu do 6 cali)
▪ Zaprojektowany do osiągania wysokich temperatur
▪ Ciśnienie bazowe: do 10-11 mbar
Dane techniczne
| Standardowy kołnierz montażowy |
DN 100CF do DN 300CF (w zależności od wielkości próbki, inne na zamówienie) |
| Zakres ciśnienia bazowego |
10-11 mbar |
| Przesłona |
zintegrowana lub zewnętrzna, pneumatyczna lub ręczna |
| Metody grzania |
oporowe, EB |
| Temperatura substratu |
do 1200 °C (oporowo)
do 1400 °C (EB) |
| Metody chłodzenia |
LN2, H20 |
Zakres Z
|
50 mm (inne na zamówienie)
|
| kontrola pozycji |
pokrętło ręczne/motoryzacja* |
| rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) |
500 μm / standardowo 10 μm |
| Zakres R1 |
360° ciągły |
| kontrola pozycji |
motoryzacja* |
Zakres XY (opcjonalnie)
|
± 12.5 mm |
| kontrola pozycji |
mikrometr/motoryzacja* |
| rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) |
5 μm / 1 μm |
| Maks. prędkość |
do 60 rpm |
| Temperatura wygrzewania |
do 150 °C / 200 °C (na zamówienie) |
* silnik krokowy lub serwomotor – w zależności od zastosowania.
Na życzenie manipulator może być przygotowany pod silniki lub sterowniki klienta.
DOSTĘPNE MATERIAŁY GRZAŁEK
| Grafit |
elastyczny (stabilny w formie), minimalne odgazowanie w wysokich temperaturach, odporny na utlenianie poniżej 500°C |
| Grafit z powłoką PBN |
elastyczny (stabilny w formie), minimalne odgazowywanie w wysokich temperaturach, odporny na utlenianie poniżej 800°C (w zależności od ciśnienia cząstkowego tlenu) |
| Grafit z powłoką SiC |
twardy, lekki i stabilny w formie, odporny na utlenianie poniżej 1400°C |
| SiC (β) |
wyjątkowo twardy, lekki i stabilny w formie, niska rozszerzalność cieplna, odporny na wstrząsy mechaniczne i elektryczne, doskonała odporność na gazy reaktywne/utlenianie |
Opcje
▪ Powłoka H2O
▪ Chłodzenie LN2 lub H2O
▪ Boczna lub zintegrowana przesłona klinowa (dostępna z opcją chłodzenia H2O)
▪ Stół dla przesunięcia w osiach XY
▪ Wł./wył. przesłony
