Opis
Zazwyczaj urządzenie montowane jest na przesuwie liniowym lub manipulatorze Z, co pozwala na umieszczenie katody w pobliżu substratu. Urządzenie posiada osłonę chroniącą przed zabrudzeniem w czasie czuwania.
Odczyty i pełną kontrolę nad urządzeniem (status, ruch manipulatora Z) zapewnia dedykowane oprogramowanie oraz Kontroler Głowic Jonizacyjnych. Aplikacja może zostać zintegrowana z oprogramowaniem Synthesium, które jest zaawansowanym narzędziem do kontroli procesu osadzania.