Miernik Strumienia Cząstek pozwala na pomiar ciśnienia równoważnego (ang. beam equivalent pressure) w zastosowaniach MBE za pomocą głowicy jonizacyjnej Bayarda- Alperta.
Zazwyczaj urządzenie montowane jest na przesuwie liniowym lub manipulatorze Z, co pozwala na umieszczenie katody w pobliżu substratu. Urządzenie posiada osłonę chroniącą przed zabrudzeniem w czasie czuwania.
Odczyty i pełną kontrolę nad urządzeniem (status, ruch manipulatora Z) zapewnia dedykowane oprogramowanie oraz Kontroler Głowic Jonizacyjnych. Aplikacja może zostać zintegrowana z oprogramowaniem Synthesium, które jest zaawansowanym narzędziem do kontroli procesu osadzania.
| Kołnierz montażowy | DN 63CF (nieobrotowy) |
| System pomiarowy | głowica Bayarda-Alperta |
| Zakres pomiarowy | 10-3 to 2×10-11 Torr |
| Skok liniowy | 150 mm (inne na zamówienie) |
| Maks. średnica zewnętrzna | 63 mm |
| Filament | podwójny filament, iryd pokryty itrem |
| Kontroler | 3 kanałowy MG15 – interfejs komunikacyjny: RS232/485, Ethernet, PROFINET (opcja – podać przy zamówieniu) |
| Temperatura wygrzewania | do 200 °C |
