Zapytaj o produkt

Standardowe systemy HPPES

Standardowe aparatury HPPES firmy PREVAC przeznaczone są do eksperymentów spektroskopii fotoelektronów w zakresie ciśnień od 2×10-9 mbar do 50 mbar, z kontrolowaną temperaturą próbki. System nadaje się do analizy szerokiej gamy nanomateriałów w warunkach UHV lub ciśnienia otoczenia.

Aparatura składa się z komory analitycznej wraz z komorą załadunkową do łatwego i szybkiego załadunku nośników próbek. Zapewniona jest pełna ochrona PLC i oprogramowanie do sterowania, zawierające przejrzystą wizualizację stanu urządzenia, akwizycję danych i sterowanie wszystkimi zintegrowanymi urządzeniami, zasilaczami i urządzeniami pomocniczymi.

Cechy

  • Standardowe rozwiązanie dla większości potrzeb badawczych z zakresu technik:
    – XPS / UPS / ARPES / AES / EELS / ISS / IPES / LEIPS  |  w warunkach UHV
    – HPXPS / APXPS / APUPS  |  w warunkach ciśnienia otoczenia AP
  • Pełna automatyzacja eksperymentalnych procedur
  • Konfiguracja “backfilling”
  • Wysoko-ciśnieniowy, hemisferyczny analizator energii EA15-HP5 / EA15-HP50 z wyposażeniem
  • Wysoko-ciśnieniowe, dwuanodowe, monochromatyczne źródło promieniowania rentgenowskiego AlKα & AgLα o wysokiej mocy, z zasilaczem
  • Wysoko-ciśnieniowe, dwuanodowe, niemonochromatyczne źródło promieniowania rentgenowskiego AlKα & MgKα o wysokiej mocy, z zasilaczem
  • Niemonochromatyczne źródło UV, z zasilaczem
  • Źródło elektronów do neutralizacji ładunków na próbce, z zasilaczem
  • Źródło jonów skupiające i kierunkujące wiązkę do profili głębokościowych i trawienia powierzchni, z zasilaczem
  • Zmotoryzowany lub manualny 4-6 osiowy manipulator próbek z szerokim zakresem temperaturowym (w zakresie od temperatur ciekłego helu/azotu do 1400˚C)
  • Różne rozmiary nośników próbek: od 10×10 mm do 2 cali
  • Komora analizy o średnicy Ø 310 mm
  • Ciśnienie bazowe w zakresie 10-9 mbar, w zależności od konfiguracji pomp próżniowych
  • System pompowania (oparty na konfiguracji pompy próżni wstępnej, turbomolekularnej, jonowej i TSP z osłoną zalewową ciekłego azotu)
  • Próżniomierze zwyposażeniem
  • Komora załadowcza dla nośników próbek
  • Niezawodny i szybki liniowy system transferowania próbek z komory załadowczej do komory analizy
  • Okna obserwacyjne z kamerą
  • Układ wygrzewania aparatury
  • Regulowana i sztywna rama główna aparatury
  • Szafy sterownicze 19″ z elektroniką
  • Pełna kontrola procesu i aparatury przy pomocy oprogramowania Spectrium i jednostki sterującej PLC

Opis

Komora analityczna wyposażona jest w kołnierze przyłączeniowe w standardzie UHV do podłączenia obecnych i przyszłych urządzeń, w tym: 

  • wysoko-ciśnieniowy, hemisferyczny analizator energii z wyposażeniem,
  • wysoko-ciśnieniowe, monochromatyczne źródło promieniowania rentgenowskiego z zasilaczem,
  • wysoko-ciśnieniowe, niemonochromatczne źródło promieniowania rentgenowskiego z zasilaczem,
  • monochromatyczne źródło UV z zasilaczem,
  • niemonochromatyczne źródło UV z zasilaczem,
  • źródło elektronów do neutralizacji ładunków na próbce z zasilaczem,
  • źródło elektronów skupiające i kierunkujące wiązkę z zasilaczem,
  • źródło jonów skupiające i kierunkujące wiązkę do profili głębokościowych i trawienia powierzchni z zasilaczem,
  • gazowe działo klastrowe (GCIB) z zasilaczem,
  • manipulator próbek z szerokim zakresem temperaturowym (w zakresie od temperatur ciekłego helu, azotu do 1400˚C),
  • system pompowania (oparty na konfiguracji pomp typu TMP, pomp jonowych i TSP z osłoną zalewową ciekłego azotu),
  • próżniomierze z wyposażeniem,
  • port wejściowy dla transferu liniowego pomiędzy komorą załadowczą a komorą analizy,
  • komora załadowcza dla nośników próbek,
  • okna obserwacyjne,
  • analizator gazów resztkowych.

Ostateczny wygląd i funkcjonalność zależy od konfiguracji aparatury. 

System pompowania to połączenie różnych typów pomp, np. pomp próżni wstępnej, pomp jonowych, pomy kriogenicznych, pomp turbomolekularnych lub tytanowych pomp sublimacyjnych z osłoną zalewową ciekłego azotu. Jest dobierane indywidualnie w celu uzyskania najlepszej wydajności pompowania zgodnie z określonymi wymaganiami aplikacji.  

W razie potrzeby modułowa konstrukcja aparatury umożliwia łączenie i integrację z dowolną inną platformą badawczą za pośrednictwem radialnej komory dystrybucji lub transferu tunelowego do przenoszenia próbek.  

Oprogramowanie sterujące pomiarem Spectrium pozwala na integrację i doskonałą współpracę hemisferycznego analizatora energii i źródeł różnych typów, a także umożliwia łatwe pisanie receptur, automatyczną kontrolę pomiaru próbek i obszerną rejestrację danych. Umożliwia integrację nowych dodatkowych komponentów opartych na platformie Open Source Tango. 

Opcje

  • Komórka wysokociśnieniowa z manipulatorem
  • W pełni zautomatyzowana komora mieszania z dozowaniem do 4 rodzajów gazów
  • Monochromatyczne źródło UV z zasilaczem
  • Źródło elektronów skupiające i kierunkujące wiązkę z zasilaczem
  • Gazowe działo klastrowe (GCIB) z zasilaczem
  • Komora z magazynem próbek 
  • Radialna komora dystrybucji lub transfer tunelowy do przenoszenia próbek
  • Walizka próżniowa (komora transportowa) z portem wejściowym w komorze załadowczej
  • Analizator gazów resztkowych
  • Pirometr

Techniki

Spektroskopia fotoemisyjna (PES) jest techniką eksperymentalną i główną odmianą spektroskopii elektronowej. Metoda oparta jest na zjawisku fotoelektrycznym i analizie rozkładu energii kinetycznej fotoelektronów. Emitowana energia jest wynikiem pobudzenia powierzchni próbki promieniowaniem elektromagnetycznym. 

Technika PES jest najczęściej stosowaną metodą badania powierzchni i badania cienkich warstw. Dostarcza informacji: o składzie ilościowym, charakterystyce wiązań atomowych, grubości warstw. W podstawowym procesie (fotoefekt) mierzy emisję fotoelektronów w wyniku napromieniowania materii fotonami. 

Zawiera techniki fotoelektronowe: 

  • XPS – rentgenowska spektroskopia fotoelektronowa 
  • HAXPES – rentgenowska spektroskopia fotoelektronowa w zakresie twardych X
  • UPS – ultrafioletowa spektroskopia fotoelektronów
  • ARPES – kątoworozdzielcza spektroskopia fotoemisyjna

Dodatkowe techniki: 

  • IPES – spektroskopia odwróconej fotoemisji 
  • LEIPS – inwersyjna spektroskopia fotoelektronów niskiej energii 
  • AES – spektroskopia elektronów Augera 
  • EELS – spektroskopia strat energii elektronów 
  • ISS – spektroskopia rozpraszania jonów 

Może spodoba się również…

Zapytaj o produkt