Opis

Manipulator umożliwia oporowe grzanie próbek (substratów) za pomocą modułu grzejnego pozwalającego osiągnąć temperaturę 1000°C z dokładnością +/- 1°C. Posiada stację odbiorczą nośnika próbek i umożliwia jego precyzyjne ustawienie kątowe względem przesłony liniowej. Manipulator może pracować w orientacji pionowej.

Materiał grzałki jest optymalnie dopasowywany do wymagań klienta oraz specyficznych warunków procesu osadzania (np. temperatura ogrzewania, obecność gazów reaktywnych). Przykładowe grzałki: thermocoax, grafit pokryty SiC, SiC (β).

▪ nośniki substratu (podłoży): PTS, typu Plate, typu Flag
▪ ciśnienie bazowe: 10^-10 mbar