Opis
Manipulator targetów posiada dwie osie obrotu: R1 i R2. Zmiana położenia R1 pozwala wybrać jeden z sześciu dostępnych targetów. W osi R2 następuje obrót ciągły względem osi wybranego targetu. Manipulator posiada dodatkowy otwór/pozycję (pomiędzy dwoma celami) na miernik mocy lasera. Opcjonalny moduł przesunięcia w osiach XY umożliwia skanowanie celu za pomocą wiązki laserowej (jedna z osi jest zmotoryzowana – do skanowania, druga jest ręczna – do regulacji). Komputer steruje obrotem celu i promieniowym skanowaniem całej średnicy celu (nieruchoma wiązka lasera) w celu wykonania wielowarstwowego osadzania przy maksymalnym wykorzystaniu targetu.
▪ Nośnik targetów: PTS
▪ Ciśnienie bazowe: 10-10 mbar
▪ Możliwość mocowania targetów o nieregularnych kształtach
▪ Rozmiar targetu: 1” lub 2”, standardowa grubość targetu: 5 – 10 mm
▪ Ciągły obrót targetów
▪ Wybór i zmiana kolejności targetów
▪ Ekran osłaniający przed wzajemną kontaminacją targetów
▪ Skanowanie promieniowe z automatycznym sterowanie
▪ Targety są współosiowe (w stosunku do substratu) i ustawione tak, aby wyeliminować prawdopodobieństwo powstawania kropel, nagromadzeń na substracie oraz skutków ewentualnego łuszczenia się celów
▪ Nośniki targetów można transferować do komory załadunkowej (lub magazynu) w celu szybkiej wymiany
▪ System chłodzenia wodą
