Zapytaj o produkt

Zasilacz Naparowywarki Elektronowej EBV40A-PS

Zasilacz zaprojektowany dla Naparowywarki Elektronowej EBV40A używanej do parowania materiałów z pręta lub tygla w warunkach UHV.

SKU: 71 Kategorie: ,

Opis

Kluczową funkcją zasilacza jest kontrola strumienia materiału. Cząstki naładowane (jony) mogą być wychwycone przez układ kolektora jonów, a mierzony prąd jonowy stanowi informację o procesie odparowywania materiału i może być wykorzystany po odpowiedniej kalibracji jako parametr kontroli szybkości nanoszenia warstw na podłoże. Przy danym prądzie emisji elektronów i energii wiązki, mierzony strumień jonowy jest wprost proporcjonalny do strumienia odparowanych atomów. EBV40A-PS posiada wbudowany kontroler PID, który stabilizuje strumień odparowywanego materiału na żądanym poziomie. Urządzenie może być obsługiwane w trybie AUTO (kontrola prądu jonowego) lub MANUAL (bez kontroli nad prądem jonowym). EBV40A-PS może być dostarczone jako jednostka do montażu w szafie 19” (3U wysokości) lub wolnostojąca. Urządzenie może być sterowane zdalnie.

Dane techniczne

Napięcie zasilania 110 V or 230 V, 50/60 Hz (określić przy zamówieniu)
(maks. pobór mocy: 600 W)
Zakres napięcia anodowego (Ueng) 0 – 1500 eV maks.200 mA; rozdzielczość < 1 V; tętnienie < 0.5PP
Zakres prądu katodowego (Ifil)  0 – 2.3 A, rozdzielczość < 0,1 A, tętnienie < 0.05 A
Zakres prądu jonowego (Flux) 1.00 nA – 99.9 mA
Maks. prąd emisji 200 mA
Czujnik temperatury 0 – 75 °C, temperatura miedzianego cylindra chłodzonego wodą
Regulator przepływu prądu regulacja strumienia prądu za pomocą wewnętrznego regulatora
Tryby pracy auto/ręczny
Czasomierz timer dwutrybowy 0 s – 99 h 59 min
Interfejs komunikacyjny* (opcja) RS232/485/422, USB
Interfejs użytkownika duży wyświetlacz LCD, przyciski funkcyjne i enkoder cyfrowy
Języki intefejsu angielski, polski
Wymiary 483 x 133 x 380 mm (W x H x D), możliwość montażu w szafie 19″ lub jako urządzenie wolnostojące
Waga (ok.) 9 kg

* W danym momencie może być używany tylko jeden interfejs komunikacyjny i jest on wybierany w momencie składania zamówienia. Może on jednak zostać wymieniony na dowolny inny interfejs komunikacyjny w dowolnym momencie poprzez proste podłączenie na tylnym panelu, bez konieczności dostępu do wnętrza urządzenia.

 

Zastosowanie

Zasilacz EBV40A-PS przeznaczony jest do naparowywarki elektronowej EBV40A, dla której zapewnia ultraczyste osadzanie sub-warstwy jednocząsteczkowej i wielowarstwowej cienkiej powłoki w zastosowaniach MBE.

Podobne produkty

Zapytaj o produkt