Opis
Kluczową funkcją zasilacza jest kontrola strumienia materiału. Cząstki naładowane (jony) mogą być wychwycone przez układ kolektora jonów, a mierzony prąd jonowy stanowi informację o procesie odparowywania materiału i może być wykorzystany po odpowiedniej kalibracji jako parametr kontroli szybkości nanoszenia warstw na podłoże. Przy danym prądzie emisji elektronów i energii wiązki, mierzony strumień jonowy jest wprost proporcjonalny do strumienia odparowanych atomów. EBV40A-PS posiada wbudowany kontroler PID, który stabilizuje strumień odparowywanego materiału na żądanym poziomie. Urządzenie może być obsługiwane w trybie AUTO (kontrola prądu jonowego) lub MANUAL (bez kontroli nad prądem jonowym). EBV40A-PS może być dostarczone jako jednostka do montażu w szafie 19” (3U wysokości) lub wolnostojąca. Urządzenie może być sterowane zdalnie.
Dane techniczne
| Napięcie zasilania |
110 V or 230 V, 50/60 Hz (określić przy zamówieniu)
(maks. pobór mocy: 600 W) |
| Zakres napięcia anodowego (Ueng) |
0 – 1500 eV maks.200 mA; rozdzielczość < 1 V; tętnienie < 0.5PP |
| Zakres prądu katodowego (Ifil) |
0 – 2.3 A, rozdzielczość < 0,1 A, tętnienie < 0.05 A |
| Zakres prądu jonowego (Flux) |
1.00 nA – 99.9 mA |
| Maks. prąd emisji |
200 mA |
| Czujnik temperatury |
0 – 75 °C, temperatura miedzianego cylindra chłodzonego wodą |
| Regulator przepływu prądu |
regulacja strumienia prądu za pomocą wewnętrznego regulatora |
| Tryby pracy |
auto/ręczny |
| Czasomierz |
timer dwutrybowy 0 s – 99 h 59 min |
| Interfejs komunikacyjny* (opcja) |
RS232/485/422, USB |
| Interfejs użytkownika |
duży wyświetlacz LCD, przyciski funkcyjne i enkoder cyfrowy |
| Języki intefejsu |
angielski, polski |
| Wymiary |
483 x 133 x 380 mm (W x H x D), możliwość montażu w szafie 19″ lub jako urządzenie wolnostojące |
| Waga (ok.) |
9 kg |
* W danym momencie może być używany tylko jeden interfejs komunikacyjny i jest on wybierany w momencie składania zamówienia. Może on jednak zostać wymieniony na dowolny inny interfejs komunikacyjny w dowolnym momencie poprzez proste podłączenie na tylnym panelu, bez konieczności dostępu do wnętrza urządzenia.
Zastosowanie
Zasilacz EBV40A-PS przeznaczony jest do naparowywarki elektronowej EBV40A, dla której zapewnia ultraczyste osadzanie sub-warstwy jednocząsteczkowej i wielowarstwowej cienkiej powłoki w zastosowaniach MBE.
