Opis
Zazwyczaj posiadają liczne porty UHV (o różnych standardowych rozmiarach) do podłączania różnych rodzajów urządzeń do przygotowania powierzchni. Są one standardowo przeznaczone do ciśnień bazowych od 1×10-10 mbar do 1×10-11 mbar. Nasze standardowe, uniwersalne komory przygotowawcze zapewniają wystarczającą ilość portów i urządzeń dla większości obecnych i przyszłych zastosowań, ale z przyjemnością wykonamy również komory na zamówienie.
Komory przygotowawcze standardowo wyposażone są w:
• precyzyjny manipulator,
• system pomp i głowice próżniowe,
• naparowywarki elektronowe i komórki efuzji,
• wagę kwarcową,
• różne typy analizatorów,
• źródła jonów do czyszczenia powierzchni,
• okna obserwacyjne.
