Dane techniczne
| Kołnierz montażowy | DN 40CF (obrotowy) |
| Gazy | Ar i gazy reaktywne (O2, H2 węglowodory o skróconym czasie życia) |
| Zakres energii | 0.15 keV – 5 keV |
| Obszar skanowania | 10 mm x 10 mm (dla odległości roboczej 23 mm) |
| Gęstość natężenia prądu | do 4 mA / cm2 (dla odległości 23 mm) |
| Prąd wiązki | > 1 μA (dla odległości 23 mm) |
| Typ katody | żarnik irydowy pokryty tlenkiem itru |
| Mały kąt stożka | 50° |
| Długość wkładki | 163 mm (standard) |
| FWHM | w zależności od odległości roboczej (e.g. < 150 μm dla odległości 23 mm) |
| Typowa odległość robocza | 23 – 120 mm |
| Temperatura wygrzewania | 250 °C |
| Ciśnienie robocze | 10-8 mbar (przy maksymalnym natężeniu prądu wiązki) |
