Opis
Manipulator umożliwia oporowe grzanie próbek (substratów, podłoży) za pomocą modułu grzejnego pozwalającego osiągnąć temperaturę 1000°C z dokładnością +/- 1°C. Posiada stację odbiorczą nośnika próbek i umożliwia jego precyzyjne ustawienie kątowe względem przesłony liniowej. Manipulator może pracować w orientacji pionowej.
Materiał grzałki jest optymalnie dopasowywany do wymagań klienta oraz specyficznych warunków procesu osadzania (np. temperatura grzania, obecność gazów reaktywnych). Przykładowe typy grzałek: thermocoax, grafit pokryty SiC, SiC (β).
Dane techniczne
| Standardowy kołnierz montażowy |
DN 100CF, DN 160CF, DN 200CF lub DN 250CF |
| Zakres ciśnienia bazowego |
10-10 mbar |
| Przesłona |
zintegrowana lub zewnętrzna, pneumatyczna lub ręczna |
| Metody grzania |
oporowe, bezpośrednie |
| Temperatura substratu |
do 1000 °C |
| Metoda chłodzenia |
H20 |
| Zakres Z |
50 mm (inne na zamówienie)
|
| kontrola pozycji |
pokrętło ręczne/motoryzacja* |
| rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) |
500 μm / standardowo 10 μm (1 μm na zamówienie) |
| Zakres R1 |
360° ciągły |
| kontrola pozycji |
motoryzacja* |
Zakres XY (opcjonalnie)
|
± 12.5 mm |
| kontrola pozycji |
mikrometr/motoryzacja* |
| rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) |
5 μm / 1 μm |
| Maks. prędkość |
do 60 rpm (na zamówienie) |
| Temperatura wygrzewania |
do 150 °C |
* silnik krokowy lub serwomotor – w zależności od zastosowania.
Na życzenie manipulator może być przygotowany pod silniki lub sterowniki klienta.
Opcje
▪ Ekran ochronny H2O
▪ Zewnętrzna lub zintegrowana przesłona do warstw klinowych
▪ Moduł do przesuwu osiach XY
▪ BIAS, DC ,RF
