Opis

Manipulator umożliwia oporowe grzanie próbek (substratów, podłoży) za pomocą modułu grzejnego pozwalającego osiągnąć temperaturę 1000°C z dokładnością +/- 1°C. Posiada stację odbiorczą nośnika próbek i umożliwia jego precyzyjne ustawienie kątowe względem przesłony liniowej. Manipulator może pracować w orientacji pionowej.

Materiał grzałki jest optymalnie dopasowywany do wymagań klienta oraz specyficznych warunków procesu osadzania (np. temperatura grzania, obecność gazów reaktywnych). Przykładowe typy grzałek: thermocoax, grafit pokryty SiC, SiC (β).