Zastosowania
Urządzenie HMI może odczytywać parametry i sterować m.in.:
▪ poziomem próżni,
▪ zaworami próżniowymi,
▪ skrzynką rozdzielczą,
▪ otwieraniem/zamykaniem przesłon,
▪ ruchem i pozycjonowaniem manipulatora,
▪ transferowaniem nośników próbek,
▪ podgrzewaniem/chłodzeniem nośników próbek,
▪ dozowaniem gazu,
▪ blokadami bezpieczeństwa.