Przejdź do strony głównej

Autoryzowany dystrybutor:

PREVAC sp. z o. o. is an authorized representative of Leybold

Zawory próżniowe:

5-axes LHe CC manipulator
5-axes LHe CC manipulator
5-axes LHe CC manipulator (with second heating stage)
Receiving station for Flag style sample holders
Receiving station for Flag style sample holders
Zapytaj o produkt

Manipulatory helowe (cykl zamknięty) 4-6 osiowe

Manipulator z kriostatem helowym to uniwersalny system z obiegiem zamkniętym helu, który ma wiele zastosowań w badaniach powierzchni w warunkach UHV.

Manipulator można wyposażyć w moduł przesuwu Z, stół XY oraz pompowane dyferencjalnie przejście obrotowe. Konstrukcja modułowa sprawia, że manipulator można rozbudowywać lub modyfikować poprzez dodawanie lub wymianę odpowiednich modułów. Zestaw podstawowy zawiera sprężarkę, przewody wysokociśnieniowe, rozprężarkę, regulator temperatury, grzałkę i czujnik.

SKU: 375 Kategoria:

Dane techniczne

Standardowy kołnierz montażowy DN 100CF lub DN 160CF
Zakres ciśnienia od 1 bar do 10-11 mbar
Metody grzania oporowe, EB, bezpośrednie
Metody chłodzenia LHe
Zakres XY
 ± 12.5 mm*
   kontrola pozycji mikrometr/motoryzacja**
   rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) 5 μm / 1 μm
Zakres Z up to 300 mm
   kontrola pozycji pokrętło ręczne/motoryzacja**
   rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) 50 μm / standardowo 10 μm (1 μm na zamówienie)
Zakres R1
 ± 180°
   kontrola pozycji przejście obrotowe/motoryzacja**
   rozdzielczość (motoryzacja) 0.1°
Zakres R2
 360° ciągły
   kontrola pozycji motoryzacja**
   rozdzielczość (motoryzacja) 0.1°
Zakres R3
 – 20° to +40°
   kontrola pozycji przejście obrotowe/motoryzacja**
   rozdzielczość (motoryzacja) 0.1°
Temperatura wygrzewania do 150 °C

* dla kołnierza montażowego DN 160CF
** silnik krokowy lub serwomotor – w zależności od zastosowania.
Na życzenie manipulator może być przygotowany pod silniki lub sterowniki klienta.

Opcje

  • Pełna motoryzacja
  • Pełna kontrola za pomocą oprogramowania
  • Wymiennik ciepła dla par helu
  • Możliwość zamontowania przyrządu kątowego do kalibracji PES
  • Dodatkowe styki elektryczne do bezpośredniego ogrzewania próbki krzemu
  • Kriostat o niskim poziomie wibracji
  • Stabilizacja temperatury
  • Opcje grzania próbek: bezpośrednie, oporowe lub wiązką elektronową (EB)

Grzanie/chłodzenie

Temperatura próbki zależy od typu nośnika próbek:

  • grzanie wiązką elektronową EB do 1000°C (na dodatkowej stacji odbiorczej próbek),
  • ogrzewanie bezpośrednie przy 10 A,
  • grzanie oporowe (na zamówienie),
  • chłodzenie ciekłym helem:
    – poniżej 10 K* (manipulator 5-osiowy)

* parametry osiągnięte bez stabilizacji i opcji ogrzewania.

Podobne produkty

Zapytaj o produkt




    Czego szukasz?

    Wpisz zapytanie i naciśnij Enter.

    Szukaj