Dane techniczne
| Standardowy kołnierz montażowy | DN 100CF lub DN 160CF |
| Zakres ciśnienia | do 10-11 mbar |
| Metody grzania | oporowe, EB, bezpośrednie |
| Metoda chłodzenia | LN2 |
| Zakres XY | ± 12.5 mm |
| kontrola pozycji | mikrometr/motoryzacja* |
| rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) | 5 μm / 1 μm |
| Zakres Z | 75 – 800 mm (inny na zamówienie) |
| kontrola pozycji | pokrętło ręczne/motoryzacja* |
| rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) | 500 μm / standardowo 10 μm (1 μm na zamówienie |
| Zakres R1 | ± 175° |
| kontrola pozycji | przejście obrotowe/motoryzacja* |
| rozdzielczość (motoryzacja) | 0.1° |
| Zakres R2 | 360° ciągły / ±90° |
| kontrola pozycji | motoryzacja |
| rozdzielczość (motoryzacja) | 0.1° |
| Temperatura wygrzewania | do 150 °C |
* silnik krokowy lub serwomotor – w zależności od zastosowania.
Na życzenie manipulator może być przygotowany pod silniki lub sterowniki klienta.
