Zapytaj o produkt

Manipulatory 1-3 osiowe

Manipulatory te pozycjonują badaną próbkę w dowolnej z trzech ortogonalnych osi XYZ. Dodatkowe ruchy obrotowe wokół osi R1, R2 lub R3 można uzyskać za pomocą dodatkowych modułów z przejściami obrotowymi. Aby osiągnąć najwyższą dokładność pozycjonowania, rozdzielczość i powtarzalność, manipulator osi XYZ i ruchy napędów obrotowych mogą być zmotoryzowane. W zależności od aplikacji, manipulatory mogą pracować w dowolnej orientacji.

Jesteśmy w stanie zaprojektować i dostarczyć szeroką gamę manipulatorów przeznaczonych do pracy w warunkach UHV w oparciu o indywidualne potrzeby klienta.

Grzanie/chłodzenie

Każdy z manipulatorów posiada stację odbiorczą na której umieszczone mogą być nośniki próbek typu PTS lub Flag (inne na życzenie). W zależności od wymagań, próbki mogą być grzane bezpośrednio, oporowo lub wiązką elektronową (EB). Chłodzenie jest realizowane za pomocą kriostatu zamontowanego na manipulatorze, przez który przepływa ciekły azot LN2 lub ciekły hel LHe.
Zapytaj o produkt