Opis
Precyzyjne wyregulowanie strumienia materiału nanoszonego na próbkę gwarantuje wysoką jednorodność warstwy, przy czym obszar osadzania jest określony poprzez odległość próbki od źródła oraz wyboru apertur wyjściowych, które są łatwe do wymiany.
Zapytaj o produkt
Naparowywarka Elektronowa EBV 40A1
Naparowywarka Elektronowa zaprojektowana jest do ultraczystego nanoszenia warstw subomonowarstwowych oraz wielowarstwowych metodą epitaksji z wiązek molekularnych (MBE).
Dane Techniczne
| Kołnierz montażowy | DN 40CF (obrotowy) |
| Zakres temperatur (dla materiałów odparowanych) | 160 °C – 2300 °C (3300 °C dla złącza molibdenowego) |
| Prąd filamentu | zwykle 1,8 – 2,2 A, maks. 2,3 A |
| Średnica pręta odparowującego | 2 mm standard (inne na zamówienie), krok 2 mm, posuw drutu 25 mmm, długość drutu 43 mm |
| Chłodzenie wodne (wymagane) | przepływ wody: > 0,5 l/min, temperatura: 20-30 °C, ciśnienie max: 6 bar. |
| Średnice otworów wylotowych | zestaw 1: ID 4, ID 6, ID 7.4 (standard) zestaw 2: ID 10, ID 14, ID 19 |
| Typ przesłony | ręczna lub pneumatyczna |
| Moc | – 50 W dla materiałów o wysokim ciśnieniu pary – do 200 W dla tygli i grubych drutów |
| Zakres energii | 1 – 1500 eV |
| Typ katody | torowany wolfram |
| Typ tygla (opcja) | ogniwo Knudsena: Mo, W, liner PBN, Al2O3 |
| Pojemność tygli | 0.07 ml |
| Materiały parowane | wszystkie typowe materiały w zależności od rodzaju tygla |
| Inne | – regulacja strumienia za pomocą prądu jonowego (elektroda, przepust, wyświetlacz i regulator PID) – materiał parowany załadowywany z tyłu |
| Długość wkładki | min. 190 mm (inne na zamówienie) OD: 34,8 mm |
| Obszar osadzania | w zależności od odległości roboczej (np. 6 mm dla odległości 25 mm – ID 4, 33 mm dla odległości 75 mm – ID 19) |
| Odległość robocza | 25 – 75 mm (optymalna) |
| Temperatura wypalania | do 250°C |
| Ciśnienie robocze | <10-5 mbar |
Cechy
- Kontrola strumienia materiału poprzez dedykowany zasilacz (EBV40A-PS)
- Szeroki wybór wymiennych apertur wyjściowych
- Wbudowane chłodzenie wodą
- Nadaje się do szerokiej gamy materiałów
- Unikalna, niezawodna konstrukcja
- Bardzo duże gęstości mocy
Opcje
- Personalizowana długość elementu próżniowego – wykonywana na życzenie
- Wbudowany shutter manualny lub elektryczno-pneumatyczny (lub brak)
- Przesuw liniowy
- Tygle
