Manipulator mini-XYZ to precyzyjne urządzenie przesuwne wykonujące przesunięcie w osiach X, Y i Z w warunkach ultra-wysokiej próżni.
Standardowy kołnierz montażowy to DN 63CF, a standardowy kołnierz przesuwny to DN 40CF. Wszystkie trzy osie są zebrane na jednym miniaturowym stole, który zapewnia wyjątkową wydajność w wyjątkowo niskiej cenie. Manipulator może pracować w dowolnej orientacji. Przesunięcie w osi Z może być zmotoryzowane.
| Kołnierz montażowy | DN 63CF lub DN 100CF |
| Kołnierz przesuwny | DN 40CF |
| Zakres XY | ± 12.5 mm |
| rozdzielczość | 5 μm |
| Zakres Z |
75 – 100 mm |
| rozdzielczość (ręcznie) | 0.5 mm |
| Temperatura wygrzewania | do 150 °C |
| Długość po skompresowaniu / po rozciągnięciu |
Długość po skompresowaniu [mm] Długość po rozciągnięciu [mm] |
||
| Zakres Z [mm] | DN 40/40CF mieszek ID39 |
DN63/40CF mieszek ID39 |
DN100/40CF mieszek ID39 |
| 75 | 179 254 |
179 254 |
179 254 |
| 100 | – | 179.5 279.5 |
179.5 279.5 |
Manipulator mini-XYZ został zaprojektowany z myślą o łatwości i wygodzie użytkowania. Przesunięcie w osi X i Y wynosi ± 12,5 mm, w zależności od zamontowanego osprzętu. Przesunięcie w osi Z wynosi 75-250 mm, w zależności od zastosowania.
