Jednoosiowe manipulatory liniowe to mechanizmy przenoszenia w warunkach UHV, składający się z dwóch kołnierzy połączonych mieszkiem spawanym krawędziowo.
Swobodny kołnierz porusza się w kierunku stałego kołnierza w ramach kontrolowanego, precyzyjnego przesunięcia przy zachowaniu równoległości. Jego działanie jest podobne do manipulatora Z, ale z nieznacznie zmniejszoną długością przesuwu i ogólną rozdzielczością pozycjonowania. Standardowy kołnierz montażowy to DN 40CF lub DN 63CF. Przesunięcie uruchamiane jest pokrętłem i może pracować w dowolnej orientacji.
Przejścia liniowe są zaprojektowane do liniowego ruchu instrumentów z minimalnym pochyleniem podczas ruchu, z zachowaniem precyzyjnego wyrównania przed i po uzyskaniu warunków próżni w komorze.
| Kołnierz montażowy | DN 40CF lub DN 63CF |
| Kołnierz przesuwny | DN 40CF |
| Zakres Z | 25, 50, 75, 100 of 150 mm |
| Średnica wewn. mieszka | 38.5 mm |
| Kontrola pozycji | pokrętło ręczne / motoryzacja (opcjonalnie) |
| Rozdzielczość | 1 mm |
| Powtarzalność | 1 mm |
| Zakres pochylenia (dla manipulatora z możliwością pochylenia) | ± 4° |
| Temperatura wygrzewania | do 150 °C |
|
Długość po skompresowaniu [mm] |
|||||||
| Zakres Z [mm] | standardowy | wysokostabilny |
z pochyleniem |
||||
| DN 40/40CF | DN 63/40CF | DN 40/40CF z podwójnie prowadzonym mieszkiem |
DN 40/40CF | DN 63/40 CF | DN 40/40CF | DN 63/40CF | |
| 25 | 45 70 |
47.5 72.5 |
– – |
– – |
47.5 72.5 |
– – |
– – |
| 50 | 51 101 |
55 105 |
– – |
– – |
60.7 110.7 |
– – |
– – |
| 75 | 53 128 |
60 135 |
– – |
54.3 129.3 |
– – |
65 140 |
– – |
| 100 | 65 165 |
69 169 |
– – |
65 165 |
69 169 |
66 166 |
55 157 |
| 150 | – – |
– – |
80 230 |
– – |
– – |
– – |
– – |
Przejścia liniowe znajdują zastosowanie w przesuwach niewymagających wielkiej precyzji. Są zwykle używane do:
