Manipulator Z jest precyzyjnym urządzeniem o wysokiej sztywności, służącym do przesuwu wzdłuż osi Z w warunkach ultra-wysokiej próżni.
Kołnierz przesuwny można dobrać w zależności od rodzaju akcesoriów. Manipulator nadaje się do montażu pionowego lub poziomego. Manipulatory Z są najczęściej używane razem ze stołami XY. Po połączeniu manipulatora Z ze stołem XY, otrzymujemy stół XYZ z trzema stopniami swobody. W razie potrzeby manipulator Z może posiadać napęd zmotoryzowany (silniki krokowe lub serwomotory).
Manipulatory Z zostały zaprojektowane z myślą o łatwym i wygodnym użytkowaniu. Urządzenia te zapewniają większe i precyzyjniejsze przesunięcie liniowe niż w przypadku przejść liniowych.
| Standardowy kołnierz montażowy | DN 40CF, DN 63CF lub DN 100CF |
| Standardowy kołnierprzesuwny | DN 40CF, DN 63CF lub DN 100CF |
| Zakres Z | 75 – 800 mm (standardowo, inne na zamówienie) |
| kontrola pozycji | pokrętło ręczne / silnik krokowy (opcjonalnie) |
| rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) | 500 μm / standard 10 μm (1 μm na zamówienie) |
| Temperatura wygrzewania | do 150 °C |
| Zakres [mm] |
Mieszek ID39 | Mieszek ID65 | Mieszek ID102 | ||
| DN 40/40CF | DN63/40CF DN100/40CF |
DN63/63CF | DN100/63CF | DN100/100CF | |
| 75 | 142 / 217 | 148.5 / 223.5 | 211 / 286 | ||
| 100 | 142 / 242 | 148.5 / 248.5 | 211 / 311 | ||
| 150 | 142 / 292 | 148.5 / 298.5 | 211 / 361 | ||
| 200 | 142 / 342 | 148.5 / 348.5 | 211 / 411 | ||
| 250 | 142 / 392 | 148.5 / 398.5 | 211 / 461 | ||
| 300 | 142 / 442 | 148.5 / 448.5 | 211 / 511 | ||
| 350 | 207 / 557 | 213.5 / 563.5 | 211 / 561 | ||
| 400 | 207 / 607 | 213.5 / 613.5 | 211 / 611 | ||
| 450 | 207 / 657 | 213.5 / 663.5 | 211 / 661 | ||
| 500 | 207 / 707 | 213.5 / 713.5 | 211 / 711 | ||
| 600 | 272 / 872 | 278.5 / 878.5 | 276 / 876 | ||
| 700 | 272 / 972 | 278.5 / 978.5 | 276 / 976 | ||
| 800 | 272 / 1072 | 278.5 / 1078.5 | 276 / 1076 | ||
