Przejdź do strony głównej

Autoryzowany dystrybutor:

PREVAC sp. z o. o. is an authorized representative of Leybold

Zawory próżniowe:

6-axes LHe OC manipulator
4-axes LHe OC manipulator (with second heating stage)
5-axes LHe OC manipulator
6-axes LHe OC manipulator
Receiving station for Flag style sample holders
Zapytaj o produkt

Manipulatory helowe (cykl otwarty) 4-6 osiowe

Manipulatory UHV do zastosowań spektroskopowych z możliwością grzania i chłodzenia LHe w cyklu otwartym.

Są to wysoce precyzyjne urządzenia modułowe o sztywnej konstrukcji, przeznaczone do pracy z próbkami w warunkach UHV, pozwalającym na manipulację próbką poprzez przemieszczenie liniowe w osiach X, Y, Z oraz obrót wokół osi R1, R2 i R3. Konstrukcja modułowa sprawia, że manipulator można rozbudowywać lub modyfikować poprzez dodawanie lub wymianę odpowiednich modułów.

SKU: 374 Kategoria:

Dane techniczne

Standardowy kołnierz montażowy DN 100CF lub DN 160CF
Zakres ciśnienia do 10-11 mbar
Metody grzania oporowe, EB, bezpośrednie
Metody chłodzenia LHe
Zakres XY
 ± 9 mm – dla kołnierza DN 100CF
± 12.5 mm – dla kołnierza DN 160CF
   kontrola pozycji mikrometr/motoryzacja*
   rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) 5 μm / 1 μm
Zakres Z
 do 600 mm
   kontrola pozycji pokrętło ręczne/motoryzacja*
   rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) 1 mm / standardowo 10 μm (1 μm na zamówienie)
Zakres R1
 ± 180° lub ± 360°
   kontrola pozycji przejście obrotowe/motoryzacja*
   rozdzielczość (motoryzacja) 0.1°
Zakres R2
 360° ciągły
   kontrola pozycji motoryzacja*
   rozdzielczość (motoryzacja) 0.1°
Zakres R3
 – 20° do +40°
   kontrola pozycji przejście obrotowe/motoryzacja*
   rozdzielczość (motoryzacja) 0.1°
Temperatura wygrzewania do 150 °C

* silnik krokowy lub serwomotor – w zależności od zastosowania.
Na życzenie manipulator może być przygotowany pod silniki lub sterowniki klienta.

Opcje

  • Pełna motoryzacja
  • Pełna kontrola za pomocą oprogramowania
  • Wymiennik ciepła dla par helu
  • Możliwość zamontowania przyrządu kątowego do kalibracji PES
  • Stabilizacja temperatury
  • Opcje grzania próbek: bezpośrednie, oporowe lub wiązką elektronową (EB)

Grzanie/chłodzenie

Temperatura próbki zależy od typu nośnika próbek:

  • Grzanie bezpośrednie przy 10 A
  • Grzanie oporowe do 1100 °C
  • Grzanie wiązką elektronową EB do 1400 °C
  • Chłodzenie ciekłym helem:
    – Manipulator 4 osiowy – do 4 K*
    – Manipulator 5-osiowy – do 4.8 K* / 10 K**
    – Manipulator 6-osiowy – do 7 K* / 15 K**

* parametry osiągnięte bez opcji grzania i stabilizacji temperatury
** parametry osiągnięte z opcją grzania

Podobne produkty

Zapytaj o produkt




    Czego szukasz?

    Wpisz zapytanie i naciśnij Enter.

    Szukaj