Opis
Komory załadowcze mogą być umieszczane w różnych miejscach systemu UHV, takich jak w bezpośrednim połączeniu z radialną komora dystrybucji, układem transferów liniowych lub komorą rękawicową.
Nasza standardowa oferta komór załadowczych jest odpowiednia dla większości pozycji i większości zastosowań, ale z przyjemnością wykonamy komory również na Państwa zamówienie.
Komory załadowcze standardowo wyposażone są w:
• Mechanizm komory załadowczej
• System pompowy
• Okna obserwacyjne
• Głowice próżniowe
Górny port mechanizmu komory załadowczej jest zwykle uszczelniony uszczelką Viton. Komory są wyposażone w kołnierze montażowe UHV i dodatkowe porty zapewniające możliwość rozbudowy w przyszłości. Są przeznaczone do pracy w ciśnieniach bazowych od 1×10-7 mbar do 1×10-9 mbar. Dostępne są również takie opcje, jak chłodzenie LN2 lub podgrzewanie próbek do 600°C.
