Dane techniczne
| Kołnierz montażowy | DN 40CF (nieobrotowy) |
| Zakres energii | 0.12 keV – 5 keV |
| Gęstość natężenia prądu | > 120 μA/cm2 (dla odległości 30 mm) |
| Osłona | Cu, stal nierdzewna (dla gazów reaktywnych) |
| Typ katody | żarnik irydowy pokryty tlenkiem itru |
| Długość wkładki | min. 62,5 mm, inne na zamówienie OD: max. 37 mm |
| FWHM | zależy od energii jonów i odległości roboczej (np. 3 mm dla odległości 30 mm) |
| Typowa odległość robocza | 30 – 250 mm |
| Temperatura wygrzewania | do 250°C |
| Ciśnienie robocze | 10-5 – 10-6 mbar |
