Opis
W celu dokładnego profilowania wgłębnego, wiązka jonów z bombardowania elektronowego lub plazmowego źródła jonów musi być wysokiej czystości i wolna od cząstek obojętnych apewnia to filtr masy Wiena, który eliminuje jony niechcianych izotopów i zanieczyszczeń oraz wielokrotnie naładowane jony i cząstki obojętne. Filtr masy Wiena jest umieszczony między jonizatorem, a stopniami ogniskowania źródła jonów IS40E1. Filtruje określone jony i tłumi zanieczyszczenia oraz obojętne cząstki przez połączenie pól elektrycznych i magnetycznych.
Filtr masy Wiena może wyeliminować:
– Jony niechcianych izotopów
– Jony zanieczyszczeń
– Wielokrotnie naładowane jony
– Naładowane klastry
– Neutralne cząstki i klastry przez pochylenie osi optycznej
