Opis
Dostępne dla podłoży o rozmiarach od 2″ do 12″ i zaprojektowane jako wymienne moduły, idealnie integrują się z naszymi manipulatorami i stolikami na próbki lub służą jako samodzielne komponenty w niestandardowych konfiguracjach.
Niezależnie od tego, czy potrzebujesz stabilnej kontroli temperatury w precyzyjnym eksperymencie, czy obróbki w wysokiej temperaturze na dużym podłożu, nasze moduły zostały zaprojektowane tak, aby zapewnić jednorodność tam, gdzie jest to najbardziej potrzebne: w całej próbce.
Precyzyjne, równomierne i niezawodne ogrzewanie w zastosowaniach ultrawysokiej temperatury (UHV) i cienkowarstwowych
Główne cechy
Pełny zakres rozmiarów podłoży. Dostępne od próbek badawczych 2″ do płytek 12″.
Szeroki zakres temperatur. Nagrzewanie rezystancyjne do 1000°C pod precyzyjną kontrolą PID, rozszerzone do 1200°C w dedykowanych konfiguracjach – obejmujące pełen zakres od delikatnego odgazowania do wzrostu w wysokiej temperaturze i wyżarzania.
Równomierne nagrzewanie podłoża. Zaprojektowane tak, aby utrzymać równomierny rozkład temperatury w całej próbce.
Zbudowane do zastosowań UHV. Materiały i konstrukcja dobrane pod kątem czystej pracy, niskiego odgazowania i niezawodnej wydajności w ultrawysokiej próżni.
Nagrzewanie kompatybilne z tlenem. Nasza opcja grzałki sSiC działa niezawodnie w atmosferach tlenowych, umożliwiając procesy wysokotemperaturowe w warunkach utleniających, w których konwencjonalne grzałki metalowe uległyby degradacji.
Zastosowanie
Moduły grzewcze PREVAC są wykorzystywane w szerokim zakresie procesów próżniowych i cienkowarstwowych, w tym:
- Nagrzewanie podłoża do rozpylania magnetronowego, PLD i MBE
- Przygotowywanie i wyżarzanie próbek do analizy powierzchni
- Wysokotemperaturowa obróbka płytek i innych podłoży
- Odgazowywanie i czyszczenie w warunkach UHV
