Cechy
• W pełni zmotoryzowany manipulator 2-osiowy z szybko działającą automatyczną przesłoną oraz z wbudowanym kubkiem Faradaya
• Manipulator wyposażony w wydajny system chłodzenia wodą, gwarantujący wymaganą stabilizację temperatury podczas procesu
• Szeroki zakres typów uchwytów do próbek o wielkości do 6 cali
• RF/ DC źródła jonowe
• Dedykowane oprogramowanie i urządzenie HMI do kontroli i monitorowania procesu i wszystkich komponentów
• Wewnętrzna osłona ochronna
• Łatwy w demontowaniu dolny kołnierz dla dodatkowych urządzeń np. naparowywarki elektronowej
• Modularna konstrukcja łatwa do rozbudowy aparatury o wpomagające moduły badawcze
• Drzwi otwierane do przodu dla łatwego dostępu do komory procesowej