PREVAC | Technologia próżniowa dla nauki i przemysłu 15.11.2026 02:25
Źródło jonów IS 40E1
Dwusoczewkowe, ekstrakcyjne działo jonowe pompowane różnicowo o skupionej wiązce. Źródło jest w stanie skanować obszar o wymiarach 10 mm x 10 mm na zalecanej odległości roboczej. Szczególnie ma zastosowanie do profilowania głębokościowego w metodach XPS, ISS i SIMS. Źródło może być również wykorzystywane do czyszczenia powierzchni próbki.
Dane techniczne
| Kołnierz montażowy | DN 40CF (obrotowy) |
| Gazy | Ar i gazy reaktywne (O2, H2, węglowodory ze skróconym czasem życia katody) |
| Zakres energii | 0.15 keV – 5 keV |
| Obszar skanowania | 10 mm x 10 mm (dla odległości roboczej 23 mm) |
| Gęstość natężenia prądu | do 4 mA / cm2 (dla odległości 23 mm) |
| Prąd wiązki | > 1 μA (dla odległości 23 mm) |
| Typ katody | żarnik irydowy pokryty tlenkiem itru |
| Mały kąt stożka | 50° |
| Długość wkładki | 163 mm (standard) |
| FWHM | w zależności od odległości roboczej (e.g. < 150 μm dla odległości 23 mm) |
| Typowa odległość robocza | 23 – 120 mm |
| Temperatura wygrzewania | 250 °C |
| Ciśnienie robocze | 10-8 mbar (przy maksymalnym natężeniu prądu wiązki) |
Cechy
- Specjalnie skonfigurowany stożek ochronny
- Praca z gazami obojętnymi (Ar) i reaktywnymi (O2, H2, węglowodory ze skróconym czasem życia katody)
- Płynna regulacja rozmiaru plamki
- Ekstremalnie jednorodny profil krateru/wiązki
- Filament możliwy do wymiany w placówce klienta
- Wejście na gaz dostosowane do UHV
- Warunki UHV utrzymywane w komorze
- Zintegrowana jednostka do skanowania i odchylania
- Korekcja kąta padania wiązki elektronowej (realizowana przez zasilacz IS40-PS)
Opcje
- Filtr Wiena -filtr mas atomowyc
- System dozowania gazu
- Przesuw liniowy: 25, 50, 75, 100 mm
- Pompowanie różnicowe (2 stopnie)