Radialna komora dystrybucji (UFO)
Komory dystrybucji przeznaczone są do przenoszenia próbek pomiędzy wieloma połączonymi z nimi komorami analitycznymi, procesowymi i przygotowawczymi.
Komory te są zwykle montowane w centralnym punkcie zespołu komór, pełniąc rolę centralnego węzła dystrybucyjnego dla narzędzi klastrowych. Mechanizm transportowo-obrotowy komory dystrybucji zapewnia powtarzalne i dokładne przeniesienie próbki do innych komór. Mechanizm radialnej komory dystrybucji jest rozwinięciem liniowego transportera z zębatką, w którym zębatka z pojedynczą końcówką chwytną jest precyzyjnie obracana przez napęd obrotowy, aż zostanie ustawiona we wstępnie ustawionej pozycji w porcie transferowym. Po zablokowaniu we właściwej pozycji, ten sam napęd obrotowy przenosi ramię przez port.
Dane techniczne
| Kołnierz przyłączeniowy | DN 63CF – DN 160CF |
| Kołnierz okien obserwacyjnych | DN 160CF |
| Średnica komory | 550 – 1200 mm (inne na zamówienie) |
| Maks. długość transferu Z | 395 – 904 mm, zależy od średnicy komory, oraz typu ramienia przenoszącego i uchwytu próbki (inne na zamówienie) |
| Kontrola pozycji | ręczna / pół-motoryzacja (opcjonalnie) / motoryzacja (opcjonalnie) |
| Temperatura wygrzewania | do 150°C |
Długość transferu
| Średnica komory D [mm] | Maksymalna długość transferu Z [mm] | |
| dla nośników próbek PTS (1″) | dla nośników próbek typu flag | |
| 550 teleskopowe | 555 | 572 |
| 700 teleskopowe | 780 | 797 |
| 700 | 395 | 414 |
| 750 | 444 | 463 |
| 800 | 493 | 512 |
| 900 | 591 | 610 |
| 1000 | 689 | 708 |
| 1200 | 885 | 904 |
Cechy
- Standardowe lub teleskopowe ramię przenoszące
- Obracając tylko jedno przejście obrotowe, można wsuwać i wysuwać ramię przenoszące, obracać nośnik próbek wokół osi ramienia, obracać mechanizm między portami transferowymi i blokować/odblokowywać nośnik próbek
- Średnica komory od 550 do 1200 mm
- Komora jest wyposażona w pompę TSP i zębatkowy mechanizm przenoszenia z przejściem obrotowym
- Czas przenoszenia między dwiema komorami <45 sek. (tryb ręczny) – szybki czas przenoszenia pozwala na utrzymanie temperatury próbek (wzrost temperatury zależy również od temperatury początkowej i pojemności cieplnej)
- Szybkie i niezawodne przenoszenie próbek gorących i zimnych, bez ryzyka upadku
- Do 8 portów transferowych do innych komór UHV z automatycznym pozycjonowaniem próbki
- Gwarantowane ciśnienie bazowe: zakres 10-11 mbar po 48h wygrzewania, 10-10 mbar podczas transferowania
- Liczne okna obserwacyjne
- Wyposażona w dodatkowe porty z kołnierzami przyłączeniowymi UHV dla przyszłej rozbudowy
- Może być wyposażona w pompy próżniowe dopasowane do zastosowania w celu uzyskania najlepszego zakresu ciśnienia (np. pompy turbomolekularne, pompy jonowe lub getterowe lub tytanowe pompy sublimacyjne)
Opcje
- Obrót w osi R1 (90° w lewo, 90° w prawo, 180°). Obrót jest niezależny dla każdego portu.
- Nośniki próbek – konstrukcja radialnej komory dystrybucji umożliwia przenoszenie szerokiej gamy różnych nośników próbek:
– PTS, typu Flag, typu Plate, typu Puck lub nośniki o specjalnej konstrukcji w rozmiarze do 12”,
– z grzaniem metodą bezpośrednią, pośrednią lub wiązką elektronów do 2000°C,
– z wysoką wydajnością chłodzenia do 4,8 K (LHe),
– dedykowane np. z wagą kwarcową, kubkiem Faradaya, do reaktorów wysokociśnieniowych, na materiały proszkowe, do spektroskopu IR i wiele innych.
Galeria
