Kontroler monitorów grubości TMC-13
Rządzenie elektroniczne najnowszej technologii przeznaczone do monitorowania i kontrolowania wszystkich procesów nanoszenia warstw i osadzania. Maksymalnie sześć wejść do podłączenia modułów TM13/TM14 i dwa dodatkowe kanały na aktywnych głowic próżniowych wraz z 7-calowym wyświetlaczem TFT czynią to urządzenie wyjątkowym i uniwersalnym.
Opis
Wejścia czujników mogą być przypisane do różnych materiałów z indywidualnymi parametrami. Urządzenie zapewnia dokładny i powtarzalny proces pomiarowy, jest elastyczne w konfiguracj i intuicyjne w obsłudze Funkcja automatycznego zapisywania do parametrów/wstępnie ustawionych jednostek umożliwia stosowanie ich automatycznie po ponownym uruchomieniu.
Dostępne oprogramowanie dedykowane do precyzyjnych pomiarów szybkości osadzania. Rejestruje zmiany częstotliwości rezonatora kwarcowego w czasie (w postaci wykresu). Umożliwia użytkownikowi obliczenie szybkości parowania w wybranym przedziale czasu. Nadaje się m.in. do zastosowań MBE.
Dane techniczne
| Napięcie zasilania | 100-240 VAC, 50/60 Hz (maks. pobór mocy: 100 W) |
| Kanały wejściowe czujników TM | 6 |
| Grubość | 0 – 9999000 Å |
| Stawka | 0 – 9999 Å/s |
| Kompatybilne sensory
(dwa kanały) |
CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, MKS937A, PG105, MG13/14, PKR251/360/361, PCR280, ATMION |
| Rozdzielczość częstotliwości | TM13: 0.1 Hz | TM14: 0.01 Hz |
| Zakres częstotliwości | 2-6 MHz |
| grubość Rozdzielczości | TM13: 0.1 Å | TM14: 0.01 Å |
| Rozdzielczość stawki | TM13: 0.1 Å/s | TM14: 0.01 Å/s |
| Stabilność częstotliwości | TM13: 0.5 ppm | TM14: 0.5 ppm |
| Współczynnik oprzyrządowania | 1 – 400% |
| Jednostki miary | Å, kÅ, nm |
| Measurement period | 100 ms – 2 s (zależy od rodzaju TM) |
| Kontrola migawki | manual, time, thickness |
| Czas otwarcia migawki | 1 – 1000000 s |
| Wejścia kanałów ciśnieniowych | 2 |
| Jednostki miary | mbar, Pa, Torr, Psia |
| Czas odgazowania | 1 – 3 min |
| Wyjśca | ▪ 8 wyjść przekaźnikowych (2 wyjścia ze stykami COM NC i NO) ▪ 2 wyjścia analogowe: 0-10V (grubość retransmisji, szybkość, ciśnienie) |
| Wejścia | 4 wejścia cyfrowe (w układzie logicznym 24V) |
| Interfejs komunikacyjny | RS232/485, Ethernet |
| Protokół komunikacyjny | MODBUS-TCP |
| Interfejs użytkownika | 7″ TFT wyświetlacz z ekranem dotykowym |
| Języki intefejsu | Angielski, Niemiecki, Polski |
| Wymiary | 212.6 x 128.4 x 260.9 mm (W x H x D) |
| Waga (ok.) | 3 kg |
Wideo
Galeria
