Standardowe systemy HPPES

• Standardowe rozwiązanie dla większości potrzeb badawczych z zakresu technik:
  – XPS / UPS / ARPES / AES / EELS / ISS / IPES / LEIPS  |  w warunkach UHV
  – HPXPS / APXPS / APUPS  |  w warunkach ciśnienia otoczenia AP
  
• Pełna automatyzacja eksperymentalnych procedur
• Konfiguracja „backfilling”
  
• Wysoko-ciśnieniowy, hemisferyczny analizator energii EA15-HP5 / EA15-HP50 z wyposażeniem
• Wysoko-ciśnieniowe, dwuanodowe, monochromatyczne źródło promieniowania rentgenowskiego AlKα & AgLα o wysokiej mocy, z zasilaczem
• Wysoko-ciśnieniowe, dwuanodowe, niemonochromatyczne źródło promieniowania rentgenowskiego AlKα & MgKα o wysokiej mocy, z zasilaczem
• Niemonochromatyczne źródło UV, z zasilaczem
• Źródło elektronów do neutralizacji ładunków na próbce, z zasilaczem
• Źródło jonów skupiające i kierunkujące wiązkę do profili głębokościowych i trawienia powierzchni, z zasilaczem
• Zmotoryzowany lub manualny 4-6 osiowy manipulator próbek z szerokim zakresem temperaturowym (w zakresie od temperatur ciekłego helu/azotu do 1400˚C)
• Różne rozmiary nośników próbek: od 10×10 mm do 2 cali
• Komora analizy o średnicy Ø 310 mm
• Ciśnienie bazowe w zakresie 10^-9 mbar, w zależności od konfiguracji pomp próżniowych
• System pompowania (oparty na konfiguracji pompy próżni wstępnej, turbomolekularnej, jonowej i TSP z osłoną zalewową ciekłego azotu)
• Próżniomierze z wyposażeniem
• Komora załadowcza dla nośników próbek
• Niezawodny i szybki liniowy system transferowania próbek z komory załadowczej do komory analizy
• Okna obserwacyjne z kamerą
  
• Układ wygrzewania aparatury
• Regulowana i sztywna rama główna aparatury
• Szafy sterownicze 19″ z elektroniką
• Pełna kontrola procesu i aparatury przy pomocy oprogramowania Spectrium i jednostki sterującej PLC

Komora analityczna wyposażona jest w kołnierze przyłączeniowe w standardzie UHV do podłączenia obecnych i przyszłych urządzeń, w tym: 

• wysoko-ciśnieniowy, hemisferyczny analizator energii z wyposażeniem,
• wysoko-ciśnieniowe, monochromatyczne źródło promieniowania rentgenowskiego z zasilaczem,
• wysoko-ciśnieniowe, niemonochromatczne źródło promieniowania rentgenowskiego z zasilaczem,
• monochromatyczne źródło UV z zasilaczem,
• niemonochromatyczne źródło UV z zasilaczem,
• źródło elektronów do neutralizacji ładunków na próbce z zasilaczem,
• źródło elektronów skupiające i kierunkujące wiązkę z zasilaczem,
• źródło jonów skupiające i kierunkujące wiązkę do profili głębokościowych i trawienia powierzchni z zasilaczem,
• gazowe działo klastrowe (GCIB) z zasilaczem,
• manipulator próbek z szerokim zakresem temperaturowym (w zakresie od temperatur ciekłego helu, azotu do 1400˚C),
• system pompowania (oparty na konfiguracji pomp typu TMP, pomp jonowych i TSP z osłoną zalewową ciekłego azotu),
• próżniomierze z wyposażeniem,
• port wejściowy dla transferu liniowego pomiędzy komorą załadowczą a komorą analizy,
• komora załadowcza dla nośników próbek,
• okna obserwacyjne,
• analizator gazów resztkowych.

Ostateczny wygląd i funkcjonalność zależy od konfiguracji aparatury. 

System pompowania to połączenie różnych typów pomp, np. pomp próżni wstępnej, pomp jonowych, pomy kriogenicznych, pomp turbomolekularnych lub tytanowych pomp sublimacyjnych z osłoną zalewową ciekłego azotu. Jest dobierane indywidualnie w celu uzyskania najlepszej wydajności pompowania zgodnie z określonymi wymaganiami aplikacji.  

W razie potrzeby modułowa konstrukcja aparatury umożliwia łączenie i integrację z dowolną inną platformą badawczą za pośrednictwem radialnej komory dystrybucji lub transferu tunelowego do przenoszenia próbek.  

Oprogramowanie sterujące pomiarem Spectrium pozwala na integrację i doskonałą współpracę hemisferycznego analizatora energii i źródeł różnych typów, a także umożliwia łatwe pisanie receptur, automatyczną kontrolę pomiaru próbek i obszerną rejestrację danych. Umożliwia integrację nowych dodatkowych komponentów opartych na platformie Open Source Tango. 

• Komórka wysokociśnieniowa z manipulatorem
• W pełni zautomatyzowana komora mieszania z dozowaniem do 4 rodzajów gazów
• Monochromatyczne źródło UV z zasilaczem
• Źródło elektronów skupiające i kierunkujące wiązkę z zasilaczem
• Gazowe działo klastrowe (GCIB) z zasilaczem
• Komora z magazynem próbek 
• Radialna komora dystrybucji lub transfer tunelowy do przenoszenia próbek
• Walizka próżniowa (komora transportowa) z portem wejściowym w komorze załadowczej
  
• Analizator gazów resztkowych
• Pirometr

Spektroskopia fotoemisyjna (PES) jest techniką eksperymentalną i główną odmianą spektroskopii elektronowej. Metoda oparta jest na zjawisku fotoelektrycznym i analizie rozkładu energii kinetycznej fotoelektronów. Emitowana energia jest wynikiem pobudzenia powierzchni próbki promieniowaniem elektromagnetycznym. 

Technika PES jest najczęściej stosowaną metodą badania powierzchni i badania cienkich warstw. Dostarcza informacji: o składzie ilościowym, charakterystyce wiązań atomowych, grubości warstw. W podstawowym procesie (fotoefekt) mierzy emisję fotoelektronów w wyniku napromieniowania materii fotonami. 

Zawiera techniki fotoelektronowe: 

• XPS – rentgenowska spektroskopia fotoelektronowa 
• HAXPES – rentgenowska spektroskopia fotoelektronowa w zakresie twardych X
• UPS – ultrafioletowa spektroskopia fotoelektronów
• ARPES – kątoworozdzielcza spektroskopia fotoemisyjna

Dodatkowe techniki: 

• IPES – spektroskopia odwróconej fotoemisji 
• LEIPS – inwersyjna spektroskopia fotoelektronów niskiej energii 
• AES – spektroskopia elektronów Augera 
• EELS – spektroskopia strat energii elektronów 
• ISS – spektroskopia rozpraszania jonów