Kontroler Procesu Depozycji DPC10
Urządzenie przeznaczone do kontroli depozycji cienkich warstw. Obsługuje dwa niezależne źródła lub komory w tym samym czasie.
DPC10 jest zaawansowanym i niezależnym urządzeniem przeznaczonym do nadzoru procesów fizycznego osadzania z fazy gazowej. DPC10 kontroluje i monitoruje szybkość osadzania i grubość osadzonej warstwy Szybkość osadzania warstwy i jej grubość są przeliczane ze zmian częstotliwości drgania kryształu kwarcowego umieszczonego wewnątrz komory procesowej. Urządzenie może być zaprogramowane przez użytkownika, by kontrolować proces w sposób dokładny i powtarzalny.
Opis
Użytkownik korzysta z urządzenia za pomocą ekranu dotykowego na przednim panelu wybierając/wprowadzając nowe parametry definiujące proces. Urządzenie wykonuje dowolną recepturę stworzoną przez użytkownika za pomocą graficznego edytora. Ponadto DPC10 współpracuje z dowolnym napięciowo sterowanym zasilaczem źródła (poprzez interfejs analogowy) i może kontrolować proces nagrzewania podłoża.
Kompletny system składa się z głównej jednostki elektronicznej DPC10, głowicy próżniowej i kontrolera grubości warstwy TM13/14 dla każdego kryształu kwarcowego.
Dane techniczne
| Napięcie zasilania | 100-240 VAC, 50/60 Hz (maks. pobór mocy: 43 W) |
| Wejścia | 2 wejścia analogowe (0-10V) 12 wejść cyfrowych |
| Wyjścia | 6 wyjść analogowych (0-10V) 16 wyjść cyfrowych |
| Obsługiwane monitory grubości | TM13: 0.1 Hz | TM14: 0.01 Hz |
| Grubość | 0 – 9999000 Å |
| Szybkość | 0 – 9999 Å/s |
| Zakres częstotliwości | 2-6 MHz |
| Rozdzielczość grubości | TM13: 0.1 Å | TM14: 0.01 Å |
| Rozdzielczość szybkości | TM13: 0.1 Å/s | TM14: 0.01 Å/s |
| Stabilność częstotliwości | TM13: 0.5 ppm | TM14: 0.5 ppm |
| Współczynnik oprzyrządowania | 1 – 400% |
| jednostki miary | Å, kÅ, nm |
| Okres pomiaru | 100 ms – 2 s (zależy od rodzaju TM) |
| Kontrola przesłony | ręczna, czasowa, grubość warstwy |
| Czas otwarcia przesłony | 1 – 1000000 s |
| Obsługiwane aktywne mierniki | CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PKR251/360/361, PCR280, TPR280/281, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, PG105, ATMION, IKR360/361 |
| jednostki miary | mbar, Pa, Torr, Psia |
| Interfejs komunikacyjny | RS232/485, Ethernet |
| Interfejs użytkownika | 7″ TFT wyświetlacz z ekranem dotykowym |
| Języki intefejsu | angielski |
| Wymiary | 212.6 x 128.4 x 266.1 mm (W x H x D) |
| Waga (ok.) | 2.1 kg |
Cechy
- Zaprojektowany do automatyzacji procesu osadzania
- Możliwość prowadzenia dwóch niezależnych procesów jednocześnie
- Łatwy w obsłudze edytor makr
- Współpracuje z dowolnym napięciowo sterowanym zasilaczem źródła (poprzez interfejs analogowy)
- Kontroluje szybkość nanoszenia i grubość nanoszonej warstwy
- Kontroluje proces nagrzewania próbki
- Wyposażony w szybki procesor i ekran dotykowy o przekątnej 7”
- Lista ulubionych materiałów
- Wykresy 2D w czasie rzeczywistym
Wideo
Galeria
