Zapytaj o produkt

Manipulatory LN2 4-5 osiowe

Manipulator 4-5 osiowy X, Y, Z, R1, R2 jest wysoce precyzyjnym manipulatorem modułowym o sztywnej konstrukcji, przeznaczonym do pracy z próbkami w warunkach UHV, z możliwością ich grzania lub chłodzenia ciekłym azotem.

Konstrukcja modułowa sprawia, że manipulator można rozbudowywać lub modyfikować poprzez dodanie lub wymianę odpowiednich modułów. Wszystkie osie manipulatora są napędzane silnikami krokowymi lub serwomotorami. Osie X, Y i Z mogą być również obsługiwane ręcznie. Standardowy rozmiar kołnierza montażowego to DN 100CF lub DN 160CF. Manipulator 4-5* osiowy jest połączeniem modułu XY, manipulatora Z i modułu obrotowego.

* 6-osiowy manipulator do nośników próbek w standardzie PTS dostępny na zamówienie.

SKU: 373 Kategoria:

Dane techniczne

Standardowy kołnierz montażowy DN 100CF lub DN 160CF
Zakres ciśnienia do 10-11 mbar
Metody grzania oporowe, EB, bezpośrednie
Metoda chłodzenia LN2
Zakres XY
 ± 12.5 mm
   kontrola pozycji mikrometr/motoryzacja*
   rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) 5 μm / 1 μm
Zakres Z
 75 – 800 mm (inny na zamówienie)
   kontrola pozycji pokrętło ręczne/motoryzacja*
   rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) 50 μm / standardowo 10 μm (1 μm na zamówienie)
Zakres R1 ± 180°
   kontrola pozycji przejście obrotowe/motoryzacja*
   rozdzielczość (ręcznie/motoryzacja) 1°/0.1°
Zakres R2
 360° ciągły / ±90°
   kontrola pozycji motoryzacja
   rozdzielczość (motoryzacja) 0.1°
Temperatura wygrzewania do 150 °C

* silnik krokowy lub serwomotor – w zależności od zastosowania.
Na życzenie manipulator może być przygotowany pod silniki lub sterowniki klienta.

Opcje

▪ Pełna motoryzacja
▪ Pełna kontrola za pomocą oprogramowania
▪ Stabilizacja temperatury
▪ Opcje gzania próbek: bezpośrednie, oporowe lub wiązką elektronową (EB)
▪ Grzałki przystosowane do gazów reaktywnych (grzanie oporowe)

Informacje dodatkowe

Manipulatory wieloosiowe są wyposażone w stację odbioru próbek, która może obsługiwać jeden z nośników próbek w standardzie PTS. Stacja wyposażona jest w 6 kontaktów elektrycznych (2 x termopara typu K, C lub E; 2 x pomiar napięcia BIAS do 1000 V, 2 x prąd grzania do 20 A) oraz styk z kulką szafirową do chłodzenia ciekłym azotem. Manipulator zawiera wszystkie niezbędne przepusty elektryczne, gazowe i mechaniczne wraz z silnikami krokowymi lub serwomotorami wraz z ich kontrolerami dla osi XY, Z, R1 i R2.

Podobne produkty

Zapytaj o produkt