PREVAC | Technologia próżniowa dla nauki i przemysłu 14.11.2026 01:24
Źródło jonów IS 40F1
Kompaktowe, łatwe w użyciu działo jonizujące typu ekstrakcyjnego z funkcją ogniskowania wiązki. Stosowane jest głównie do czyszczenia powierzchni próbek, ale funkcja ogniskowania daje więcej możliwości. Na przykład możliwe jest pokrycie różnych powierzchni próbki przy zachowaniu tej samej odległości lub wykorzystanie źródła nawet wtedy, gdy nie jest możliwe zbliżenie źródła do próbki. Źródło generuje prąd jonowy >200 μA/cm2 (argon) z profilem gaussowskim wiązki. Długość wkładu źródła można dostosować do indywidualnych wymagań (od 143 mm do 386 mm, inne dostępne są na zamówienie).
Dane techniczne
| Kołnierz montażowy | DN 40CF (nieobrotowy) |
| Zakres energii | 0.12 keV – 5 keV |
| Gęstość natężenia prądu | > 200 μA/cm2 (dla odległości 30 mm) |
| Osłona | Cu, stal nierdzewna (dla gazów reaktywnych) |
| Typ katody | żarnik irydowy pokryty tlenkiem itru |
| Długość wkładki | min. 143 mm, inne na zamówienie OD: max. 37 mm |
| FWHM | zależy od energii jonów i odległości roboczej (np. 1.4 mm dla odległości 60 mm, 3 mm dla odległości 150 mm) |
| Typowa odległość robocza | 30 – 250 mm |
| Temperatura wygrzewania | do 250°C |
| Ciśnienie robocze | 10-5 – 10-6 mbar |
Cechy
- Funkcja skupienia wiązki – możliwe zogniskowanie wiązki do 3 mm przy odległości próbki w zakresie od 30 mm do 150 mm
- Wysoka intensywność wiązki na większych dystansach (dzięki funkcji skupiania wiązki)
- Praca z gazami obojętnymi (Ar) i reaktywnymi (O2, H2, węglowodory ze skróconym czasem życia katody)
- Wysokie natężenie prądu wiązki jonowej
- Długa żywotność
- Wysoka stabilność
Opcje
- System dozowania gazu
- Personalizowana długość elementu próżniowego – wykonywana na życzenie
- Przesuw liniowy
Galeria
