umożliwia precyzyjną regulację energii wiązki elektronów, gęstości, pozycji na próbce, a także profilu wiązki.
Funkcje skanowania pozwalają na niezależnie kontrolowanie prędkości i zasięgu skanowania. Wszystkie ustawienia mogą być zmieniane ręcznie lub zapisywane i automatycznie wyświetlane po włączeniu urządzenia. Urządzenie zawiera wbudowany timer i automatyczny tryb czuwania. ES40-PS może być dostarczony jako jednostka do montażu w szafie rack 19″ o pełnej szerokości (wysokość 3U) lub jako urządzenie wolnostojące. Prosta aktualizacja oprogramowania przez port USB. Urządzenie może być zdalnie sterowane przez interfejsy RS232/485 lub Ethernet. Funkcja automatycznego zapisywania do parametrów/wstępnie ustawionych jednostek umożliwia stosowanie ich automatycznie po ponownym uruchomieniu.
| Napięcie zasilania | 100 – 120 VAC/200 – 240 VAC, 50-60 Hz (maks. pobór mocy: 250 W) |
| Energia wiązki | 0 – 5000 eV, rozdzielczość 0.1 eV, ripple < 200 mV |
| Prąd emisyjny | 0.1 – 300 μA, res. 0.01 μA [tryb ES] 1 – 3000 nA, res. 1 nA [tryb CMA] |
| Napięcie ogniskowania | 60 – 100 % związane z napięciem energetycznym, rozdzielczość 0.1 % |
| Napięcie Wehnelta | 0 – 150 V, res. 0.1 V [tryb ES] -12 – 12 V, res. 0.1 V [tryb CMA] |
| Położenie wiązki (Px,Py) | rozdzielczość 0.01 mm, środek pozycji ±5 mm |
| Obszar skanowania (Δx, Δy) | 10 mm × 10 mm, rozdzielczość 0.01 mm |
| Prędkość skanowania (czas/dot) | 20 μs – 30 ms |
| Czasomierz | timer dwutrybowy 0s – 99h 59m |
| Pomiar podciśnienia (opcjonalne) | CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, MKS937A, PG105, MG13/14, PKR251/360/361, PCR280, ATMION |
| Communication interface | RS232/485, Ethernet |
| Protokół komunikacyjny | MODBUS-TCP |
| Interfejs użytkownika | 7″ TFT wyświetlacz z ekranem dotykowym, enkoder cyfrowy |
| Języki intefejsu | Angielski, Niemiecki, Polski |
| Wymiary | 483 x 133 x 435 mm (W x H x D), 19″ montowany na stelażu |
| Waga (ok.) | 9.2 kg |
Zasilacz ES40-PS jest przeznaczony do użytku z niskoenergetycznym źródłem elektronów ES40C1 lub dwuprzebiegowym lustrzanym mini analizatorem cylindrycznym CMA 40CF. Zasilacz umożliwia precyzyjną regulację profilu wiązki elektronów, co pozwala uzyskać małą plamkę przy wysokich prądach energii i emisji.
– Sterowanie oprogramowaniem (wersja Pro, rozszerzona lub moduł biblioteczny),
– Karta wejść/wyjść analogowych do pomiarów próżni (1 miernik).