Transfer tunelowy
Transfer tunelowy służy do przenoszenia próbek pomiędzy komorami UHV w sposób stabilny i łatwy w obsłudze.
Komora wykonana jest ze stali nierdzewnej i posiada kołnierze przyłączeniowe dla pompy, okien obserwacyjnych, głowic próżniowych oraz porty transferowe do przyłączenia innych komór. Gwarantowany zakres ciśnienia bazowe 10-11 mbar po wygrzewaniu w temperaturze 150°C
Opis
Za pomocą specjalnego wózka można załadować i transferować do 15 szt. nośników próbek PTS lub typu Flag, albo 4 nośniki typu Plate na próbki rozmiaru 2″.
Przesunięcie specjalnego wózka realizowane jest za pomocą liniowego napędu magnetycznego i szyny transferowej wewnątrz tunelu. Wszystkie elementy napędowe: przejście obrotowe, pasek napędowy z zestawem magnesów, silnik sekcji itp. znajdują się poza próżnią, aby zapewnić najlepszą możliwą wydajność próżni i łatwą obsługę.
Wszystkie nośniki próbek montowane są w wózku w pozycji pionowej. Wózek automatycznie zmienia swoje położenie kątowe w odcinkach zmiennych, co gwarantuje łatwą obsługę i płynne przenoszenie do dedykowanej radialnej komory dystrybucji. Ruch liniowy jest w pełni automatyczny, każda sekcja zawiera własny czujnik optyczny i silnik, aby zagwarantować całkowicie niezależne przesunięcie w ramach każdej sekcji oraz wysoki poziom precyzji i pełną ochronę systemu.
Mechanizm komory załadowczej z szybkim załadunkiem służy do ładowania kasety z nośnikami próbek.
Opcje
- Obrót w osi R1 (90° w lewo, 90° w prawo). Obrót jest niezależny dla każdego portu.
- Nośniki próbek – konstrukcja transferu tunelowego umożliwia przenoszenie szerokiej gamy różnych nośników próbek.
Galeria
