Urządzenia TM13 i TM14 składają się z: oscylatora kwarcowego, układu pomiaru częstotliwości oraz interfejsu komunikacyjnego.
Urządzenie jest podłączane do rezonatora kwarcowego znajdującego się w komorze próżniowej. Wyniki pomiarów są przesyłane przez interfejs RS232 do urządzenia nadrzędnego: komputera PC lub sterownika TMC13. Remote control via TMC13 controller or PC. Dostępne jest oprogramowanie dedykowane do precyzyjnych pomiarów prędkości osadzania. Rejestruje zmiany częstotliwości rezonatora kwarcowego w czasie (w postaci wykresu). Umożliwia użytkownikowi obliczenie szybkości parowania w wybranym przedziale czasu. Nadaje się m.in. do zastosowań MBE.
| Zasilacz | 5V DC | |
| Zużycie prądu | maks. 500 mA | |
| TM13 | TM14 | |
| Rozdzielczość grubości | 0.1 Å | 0.01 Å |
| Rozdzielczość stawki | 0.1 Å/s | 0.01 Å/s |
| Rozdzielczość częstotliwości | 0.1 Hz | 0.01 Hz |
| Stabilność częstotliwości | 0.5 ppm | 0.5 ppm |
| Liczba pomiarów w ciągu sekundy | 4 | 0.5; 1; 2; 4; 10 (do wyboru) |
| Interfejs komunikacyjny | RS232 | |
| Wymiary [mm] | 80.0 x 50.0 x 27.0 mm (W x H x D) | |
| Waga (ok.) | 0.1 kg | |