PREVAC | Technologia próżniowa dla nauki i przemysłu 14.11.2026 01:17
Tytanowa pompa sublimacyjna (TSP)
Główną zaletą tytanowej pompy sublimacyjnej TSP jest jej prostota, cena i możliwość generowania dużych prędkości pompowania (UHV).
Opis
Pompa składa się z 3 wyjmowanych filamentów, które wykonane są ze stopu tytanu oraz molibdenu. Są one zamontowane na prostym uchwycie o niskiej rezystancji elektrycznej. Przez grzejnik przepływa duży prąd z zewnętrznego zasilacza, który powoduje rozgrzanie filamentu. W tej temperaturze tytan jest sublimowany bezpośrednio z filamentu, a odparowany materiał pokrywa następnie przyległe ściany komory.
▪ Aby zwiększyć prędkość pompowania, TSP można wyposażyć w ekran chłodzony LN2
▪ Dostępne warianty do pracy w różnej orientacji
Galeria
